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1. (WO2018057674) BOUE DE PLANARISATION CHIMICO-MÉCANIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FORMATION
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N° de publication :    WO/2018/057674    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/052604
Date de publication : 29.03.2018 Date de dépôt international : 21.09.2017
CIB :
C09G 1/02 (2006.01), C09K 3/14 (2006.01)
Déposants : SAINT-GOBAIN CERAMICS & PLASTICS, INC. [US/US]; One New Bond Street Worcester, Massachusetts 01615 (US)
Inventeurs : SINES, Ian T.; (US).
KWAPONG, Angela; (US).
MULDER, Carlijn L.; (US).
WARD, Douglas E.; (US).
LE ROUX, Vianney; (FR)
Mandataire : HAMILTON, Brett A.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/398,960 23.09.2016 US
Titre (EN) CHEMICAL MECHANICAL PLANARIZATION SLURRY AND METHOD FOR FORMING SAME
(FR) BOUE DE PLANARISATION CHIMICO-MÉCANIQUE ET SON PROCÉDÉ DE FORMATION
Abrégé : front page image
(EN)A CMP slurry including a carrier, a particulate material within the carrier including an oxide, carbide, nitride, boride, diamond or any combination thereof, an oxidizer including at least one material selected from the group of peroxides, persulfates, permanganates, periodates, perchlorates, hypocholorites, iodates, peroxymonosulfates, cerric ammonium nitrate, periodic acid, ferricyanides, or any combination thereof, and a material removal rate index (MRR) of at least 500 nm/hr and an average roughness index (Ra) of not greater than 5 Angstroms according to the Standardized Polishing test.
(FR)L'invention concerne une boue de planarisation chimico-mécanique (CMP) comprenant un véhicule, à l'intérieur duquel un matériau particulaire comprend un oxyde, un carbure, un nitrure, un borure, du diamant ou toute combinaison de ceux-ci, un oxydant comprenant au moins un matériau choisi dans le groupe constitué par les peroxydes, persulfates, permanganates, periodates, perchlorates, hypocholorites, iodates, peroxymonosulfates, le nitrate d'ammonium et de cérium, l'acide périodique, les ferricyanures, ou toute combinaison de ceux-ci, et un indice de taux d'élimination de matériau (MRR) d'au moins 500 nm/h et un indice de rugosité moyenne (Ra) inférieur ou égal à 5 angströms selon le test de polissage standardisé.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)