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1. (WO2018057433) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE DÉFOCALISATION
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N° de publication : WO/2018/057433 N° de la demande internationale : PCT/US2017/051901
Date de publication : 29.03.2018 Date de dépôt international : 15.09.2017
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
Déposants : KLA-TENCOR CORPORATION[US/US]; Legal Department One Technology Drive Milpitas, California 95035, US
Inventeurs : JIANG, Xuguang; US
LI, Shifang; US
ZHANG, Yong; US
Mandataire : MCANDREWS, Kevin; US
MORRIS, Elizabeth M. N.; US
Données relatives à la priorité :
15/669,03004.08.2017US
62/399,25123.09.2016US
Titre (EN) METHOD FOR DEFOCUS DETECTION
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTECTION DE DÉFOCALISATION
Abrégé : front page image
(EN) Two or more color data can be combined to form a new data source to enhance sensitivity to defocus signal. Defocus detection can be performed on the newly formed data source. In a setup step, a training wafer can be used to select the best color combination, and obtain defocus detection threshold. This can include applying a segment mask, calculating mean intensities of the segment, determining a color combination that optimizes defocus sensitivity, and generating a second segment mask based on pixels that are above a threshold to sensitivity. In a detection step, the selected color combination is calculated, and the threshold is applied to obtain defocus detection result.
(FR) Selon la présente invention, au moins deux données de couleur peuvent être combinées pour former une nouvelle source de données afin d'améliorer la sensibilité à un signal de défocalisation. Une détection de défocalisation peut être effectuée sur la source de données nouvellement formée. Dans une étape de paramétrage, une tranche d'apprentissage peut être utilisée afin de sélectionner la meilleure combinaison de couleurs, et d'obtenir un seuil de détection de défocalisation. Ceci peut consister à appliquer un masque de segment, à calculer des intensités moyennes du segment, à déterminer une combinaison de couleurs qui optimise la sensibilité de défocalisation, et à générer un second masque de segment sur la base de pixels qui sont supérieurs à un seuil de sensibilité. Dans une étape de détection, la combinaison de couleurs sélectionnée est calculée, et le seuil est appliqué afin d'obtenir un résultat de détection de défocalisation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)