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1. (WO2018055818) DISPOSITIF DE GESTION DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE GESTION DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROGRAMME DE GESTION DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/055818    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/013878
Date de publication : 29.03.2018 Date de dépôt international : 03.04.2017
CIB :
G05B 19/418 (2006.01), H01L 21/02 (2006.01), H01L 21/027 (2006.01)
Déposants : SCREEN HOLDINGS CO., LTD. [JP/JP]; Tenjinkita-machi 1-1, Teranouchi-agaru 4-chome, Horikawa-dori, Kamigyo-ku, Kyoto-shi, Kyoto 6028585 (JP)
Inventeurs : JO, Kenichiro; (JP).
NAKANISHI, Akihiro; (JP)
Mandataire : FUKUSHIMA, Yoshito; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-182811 20.09.2016 JP
Titre (EN) SUBSTRATE PROCESSING MANAGEMENT DEVICE, SUBSTRATE PROCESSING MANAGEMENT METHOD, AND SUBSTRATE PROCESSING MANAGEMENT PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE GESTION DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT, PROCÉDÉ DE GESTION DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT ET PROGRAMME DE GESTION DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
(JA) 基板処理管理装置、基板処理管理方法および基板処理管理プログラム
Abrégé : front page image
(EN)History display data is acquired for displaying a history of processing of a plurality of substrates in a substrate processing device. On the basis of the acquired history display data, the history of the processing of the plurality of substrates is displayed by a display unit as a history chart. If, as arbitrary portions of the history chart which is displayed by the display unit, a plurality of elements which correspond both to different substrates and to the same process are accepted as a first and second element, first or secondary additional lines are displayed upon the history chart as traversing the portions which mutually correspond to the accepted first and second elements.
(FR)Selon la présente invention, des données d'affichage d'historique sont acquises de manière à afficher un historique de traitement d'une pluralité de substrats dans un dispositif de traitement de substrat. Sur la base des données d'affichage d'historique acquises, l'historique du traitement de la pluralité de substrats est affiché par une unité d'affichage en tant que graphique d'historique. Si, en tant que parties arbitraires du graphique d'historique qui est affiché par l'unité d'affichage, une pluralité d'éléments qui correspondent aussi bien aux différents substrats qu'au même processus sont acceptés en tant que premier et second éléments, des première ou seconde lignes supplémentaires sont affichées sur le graphique d'historique comme traversant les parties qui correspondent mutuellement aux premier et second éléments acceptés.
(JA)基板処理装置における複数の基板の処理の履歴を表示するための履歴表示データが取得される。取得された履歴表示データに基づいて複数の基板の処理の履歴が履歴チャートとして表示部に表示される。表示部により表示された履歴チャートの任意の部分として、異なる基板に対応しかつ同じ処理に対応する複数の要素が第1および第2の要素として受け付けられた場合に、受け付けられた第1および第2の要素の互いに対応する部分を通る第1または第2の補助線が履歴チャート上に表示される。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)