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1. (WO2018055776) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN ÉNERGIE PLASMA, DISPOSITIF À PLASMA ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE PLASMA
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N° de publication :    WO/2018/055776    N° de la demande internationale :    PCT/JP2016/078301
Date de publication : 29.03.2018 Date de dépôt international : 26.09.2016
CIB :
H05H 1/46 (2006.01)
Déposants : FUJI CORPORATION [JP/JP]; 19, Chausuyama, Yamamachi, Chiryu-shi, Aichi 4728686 (JP)
Inventeurs : TAKIKAWA Shinji; (JP)
Mandataire : KOBAYASHI Osamu; (JP).
YAMAMOTO Yoshikazu; (JP).
KIMURA Gunji; (JP)
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PLASMA POWER SUPPLY DEVICE, PLASMA DEVICE, AND PLASMA GENERATION METHOD
(FR) DISPOSITIF D'ALIMENTATION EN ÉNERGIE PLASMA, DISPOSITIF À PLASMA ET PROCÉDÉ DE GÉNÉRATION DE PLASMA
(JA) プラズマ用電源装置、プラズマ装置、およびプラズマ発生方法
Abrégé : front page image
(EN)The present invention is a plasma power supply device (1) for applying AC voltage to a pair of electrodes (92) to generate plasma, wherein a distortion wave AC power supply (pulse width modulation power supply 2 and smoothing circuit 6) is provided for outputting distortion wave AC voltage (Wris, Wdwn) in which rising modulation for speeding the rise of the voltage waveform and/or falling modulation for delaying the fall of the voltage waveform is performed, in comparison to the sine wave AC voltage (Wsin). The time band in which it is possible to generate plasma within one cycle of AC voltage is thereby widened, whereby this plasma power supply device has excellent plasma generation capability.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'alimentation en énergie plasma (1) destiné à appliquer une tension alternative à une paire d'électrodes (92) pour générer un plasma, une alimentation électrique en courant alternatif (CA) d'onde de distorsion (une alimentation électrique à modulation de largeur d'impulsion (2) et un circuit de lissage (6)) étant fournie pour délivrer en sortie une tension alternative d'onde de distorsion (Wris, Wdwn) dans laquelle une modulation montante pour accélérer la montée de la forme d'onde de tension et/ou la modulation de chute pour retarder la chute de la forme d'onde de tension est effectuée, par comparaison à la tension alternative d'onde sinusoïdale (Wsin). La bande de temps dans laquelle il est possible de générer un plasma pendant un cycle de tension alternative est, de ce fait, élargie, moyennant quoi ce dispositif d'alimentation en énergie plasma présente une excellente capacité de génération de plasma.
(JA)本発明のプラズマ用電源装置(1)は、一対の電極(92)に交流電圧を印加してプラズマを発生させるプラズマ用電源装置であって、正弦波交流電圧(Wsin)と比較して電圧波形の立ち上がりを早くする立ち上がり変調、および電圧波形の立ち下がりを遅くする立ち下がり変調の少なくとも一方を施した歪み波交流電圧(Wris、Wdwn)を出力する歪み波交流電源(パルス幅変調電源2および平滑回路6)を備えた。これによれば、交流電圧の1周期の中でプラズマの発生可能な時間帯が拡がるので、本発明のプラズマ用電源装置は、プラズマ発生能力に優れる。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)