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1. (WO2018055715) MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE

Pub. No.:    WO/2018/055715    International Application No.:    PCT/JP2016/077926
Publication Date: Fri Mar 30 01:59:59 CEST 2018 International Filing Date: Sat Sep 24 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01J 37/16
H01J 7/18
H01J 37/073
H01J 37/28
Applicants: HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION
株式会社 日立ハイテクノロジーズ
Inventors: ONISHI Takashi
大西 崇
Title: MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE
Abstract:
Le problème abordé par la présente invention est de fournir un microscope électronique qui peut être activé à une température appropriée par disposition d'un getter sans évaporation (NEG) au niveau d'une électrode d'extraction, au voisinage d'une source d'électrons. La présente invention concerne un microscope électronique pourvu d'un canon à électrons, ce microscope électronique étant caractérisé en ce que le canon à électrons est pourvu d'une source d'électrons, d'une électrode d'extraction et d'un tube d'accélération, en ce que le tube d'accélération est relié à l'électrode d'extraction au niveau d'un emplacement de connexion, en ce que l'électrode d'extraction est pourvue d'un premier élément chauffant chauffage et d'un premier NEG, et en ce que le premier élément chauffant et le premier NEG sont espacés l'un de l'autre dans la direction axiale d'un faisceau d'électrons émis à partir de la source d'électrons.