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1. (WO2018054795) ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLÉCHISSANT
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N° de publication :    WO/2018/054795    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/073377
Date de publication : 29.03.2018 Date de dépôt international : 17.09.2017
CIB :
G02B 5/08 (2006.01), G21K 1/06 (2006.01)
Déposants : CARL ZEISS SMT GMBH [DE/DE]; Rudolf-Eber-Strasse 2 73447 Oberkochen (DE)
Inventeurs : FREIMANN, Rolf; (DE).
BECKER, Hans Willy; (DE).
GRASSE, Christian; (DE)
Mandataire : WERNER & TEN BRINK - PATENTANWÄLTE PARTGMBB; Mendelstr. 11 48149 Münster (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2016 218 028.2 20.09.2016 DE
Titre (DE) REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT
(EN) REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT
(FR) ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLÉCHISSANT
Abrégé : front page image
(DE)Zur Erhöhung der Reflektivität wird ein reflektives optisches Element (50) für den extrem 5 ultravioletten Wellenlängenbereich mit einem Viellagensystem (51) auf einem Substrat (52) vorgeschlagen, bei dem das Viellagensystem (51) erste und zweite Lagen (54, 55) aus jeweils Materialien mit unterschiedlichem Realteil des Brechungsindex bei einer bestimmten Wellenlänge im extrem ultravioletten Wellenlängenbereich aufweist, die abwechselnd angeordnet sind, wobei zwischen einer ersten (54) und einer zweiten Lage 10 (55) oder einer zweiten (55) und einer ersten Lage (54) eine Übergangsschicht (58, 59) angeordnet ist, deren Brechungsindex bei der bestimmten Wellenlänge über die Dicke (D) der Übergangsschicht variabel ist.
(EN)In order to increase reflectivity, a reflective optical element (50) for the extreme ultraviolet wavelength range is proposed, said element comprising a multilayer system (51) on a substrate (52). The multilayer system (51) has first and second layers (54, 55) made of respective materials with different real components of the refractive index at a specific wavelength in the extreme ultraviolet wavelength range, and the layers are arranged in an alternating manner, wherein a transition layer (58, 59) with a refractive index which is variable over the thickness (D) of the transition layer at the specific wavelength is arranged between a first (54) and a second layer (55) or a second (55) and a first layer (54).
(FR)Pour augmenter la réflectivité, on utilise un élément optique réfléchissant (50) pour la gamme des longueurs d'ondes ultraviolettes extrêmes, comportant un système multicouche (51) sur un substrat (52), le système multicouche (51) comprenant des première et seconde couches (54, 55) composées respectivement de matériaux présentant des composantes réelles différentes de l'indice de réfraction pour une longueur d'onde déterminée dans la gamme des longueurs d'ondes ultraviolettes extrêmes, qui sont agencées en alternance. Une couche de transition (58, 59) dont l'indice de réfraction est variable pour la longueur d'onde déterminée sur l'épaisseur (D) de la couche de transition est disposée entre une première couche (54) et une deuxième couche (55) ou une deuxième couche (55) et une première couche (54).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)