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1. (WO2018054405) MESURE RAPIDE DE FAISCEAUX DANS PLUSIEURS PLANS
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N° de publication :    WO/2018/054405    N° de la demande internationale :    PCT/DE2017/000308
Date de publication : 29.03.2018 Date de dépôt international : 20.09.2017
CIB :
G01J 1/42 (2006.01), B23K 26/70 (2014.01)
Déposants : PRIMES GmbH Meßtechnik für die Produktion mit Laserstrahlung [DE/DE]; Max-Planck-Str. 2 64319 Pfungstadt (DE)
Inventeurs : KRAMER, Reinhard; (DE).
MÄRTEN, Otto; (DE).
WOLF, Stefan; (DE).
KOGLBAUER, Andreas; (DE)
Données relatives à la priorité :
10 2016 011 568.8 26.09.2016 DE
Titre (DE) SCHNELLE STRAHLVERMESSUNG IN MEHREREN EBENEN
(EN) FAST BEAM MEASUREMENT IN A PLURALITY OF PLANES
(FR) MESURE RAPIDE DE FAISCEAUX DANS PLUSIEURS PLANS
Abrégé : front page image
(DE)Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur direkten Bestimmung von räumlichen Abmessungen eines Lichtstrahls mit hoher Genauigkeit und kurzer Messdauer, die auch zur Vermessung von Laserstrahlen mit hoher Leistung im Bereich des Strahlfokus geeignet sind. Dazu wird eine Vorrichtung vorgeschlagen, die einen Strahl-Abtaster (20), mindestens einen Lichtsensor (60), eine Bewegungseinrichtung (50) zur Ausführung einer Relativbewegung zwischen dem Lichtstrahl (10) und dem Strahl-Abtaster (20), und eine Einrichtung (64) zur Signalaufzeichnung eines zeitlich veränderlichen Signals vom Lichtsensor (60) beinhaltet. Der Strahl-Abtaster (20) umfasst mindestens einen Abtastkörper (21) mit mindestens drei Sonden-Bereichen (22), die entlang von Sonden-Linien ausgedehnt sind. Die Sonden-Bereiche (22) sind ausgebildet zur Entnahme von linienförmigen oder streifenförmigen Licht-Proben aus einem Querschnitt (14) des Lichtstrahls (10). Mehrere Abtastflächen (25) sind definiert durch die Sonden-Linien der Sonden- Bereiche (22) jeweils aufgespannt mit einem Bewegungsvektor (55) der Relativbewegung. Dabei weisen mindestens drei Abtastflächen (25) in Richtung der Achse des Lichtstrahls einen von Null verschiedenen Abstand zueinander auf. Der Lichtsensor (60) ist ausgebildet zur Erfassung mindestens eines Teils des Proben- Lichts der von den Sonden-Bereichen (22) entnommenen Licht-Probe aus dem Querschnitt (14) des Lichtstrahls (10).
(EN)The invention relates to a method and an apparatus for directly determining spatial dimensions of a light beam with a high accuracy and a short measurement duration, which are also suitable for measuring high-power laser beams in the region of the beam focus. To this end, an apparatus is proposed, said apparatus containing a beam scanner (20), at least one light sensor (60), a movement device (50) for carrying out a relative movement between the light beam (10) and the beam scanner (20), and a device (64) for recording a signal of a time-varying signal from the light sensor (60). The beam scanner (20) comprises at least one scanner body (21) with at least three probe regions (22) which extend along probe lines. The probe regions (22) are embodied to take line-shaped or stripe-shaped light samples from a cross section (14) of the light beam (10). A plurality of scanning areas (25) are defined by the probe lines of the probe regions (22), respectively spanned by a movement vector (55) of the relative movement. Here, at least three scanning areas (25) have a distance that differs from zero from one another in the direction of the axis of the light beam. The light sensor (60) is embodied to capture at least some of the sample light of the light sample gathered from the probe regions (22) from the cross section (14) of the light beam (10).
(FR)L'invention concerne un procédé et un dispositif de détermination directe de dimensions spatiales d'un faisceau lumineux avec une grande précision et une durée de mesure courte, lesquels sont également appropriés pour la mesure de faisceaux laser à haute puissance dans la zone du foyer de faisceau. À cet effet, l'invention concerne un dispositif qui comporte un échantillonneur de faisceau (20), au moins un capteur de lumière (60), un dispositif de déplacement (50) servant à effectuer un déplacement relatif entre le faisceau lumineux (10) et l'échantillonneur de faisceau (20), et un dispositif (64) d'enregistrement d'un signal, variant dans le temps, provenant du capteur de lumière (60). L'échantillonneur de faisceau (20) comporte au moins un corps d'échantillonnage (21) doté d'au moins trois zones de sonde (22) qui s'étendent le long de lignes de sondes. Les zones de sonde (22) sont conçues pour prélever des échantillons de lumière en forme de lignes ou en forme de bandes à partir d'une section transversale (14) du faisceau lumineux (10). Plusieurs surfaces d'échantillonnage (25) sont définies par les lignes de sondes des zones de sonde (22) respectivement de manière définie par un vecteur de déplacement (55) du déplacement relatif. Au moins trois surfaces d'échantillonnage (25) présentent, dans la direction de l'axe du faisceau lumineux, une distance non nulle les unes par rapport aux autres. Le capteur de lumière (60) est conçu pour détecter au moins une partie de la lumière de l'échantillon de lumière prélevé par les zones de sonde (22) à partir de la section transversale (14) du faisceau lumineux (10).
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)