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1. (WO2018053538) APPAREIL ET PROCÉDÉS D'UN RÉGULATEUR DE DÉBIT MASSIQUE BASÉ SUR LA PRESSION À CORRECTION AUTOMATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication :    WO/2018/053538    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/052338
Date de publication : 22.03.2018 Date de dépôt international : 19.09.2017
CIB :
G05D 7/06 (2006.01)
Déposants : SOMANI, Bhushan [US/US]; (US)
Inventeurs : SOMANI, Bhushan; (US).
ELLEC, Christophe; (US).
REDEMANN, Eric J.; (US)
Mandataire : MAHESHWARI, Kumar, K.; (US)
Données relatives à la priorité :
62/396,809 19.09.2016 US
62/396,807 19.09.2016 US
62/396,808 19.09.2016 US
Titre (EN) APPARATUS AND METHODS FOR SELF-CORRECTING PRESSURE BASED MASS FLOW CONTROLLER
(FR) APPAREIL ET PROCÉDÉS D'UN RÉGULATEUR DE DÉBIT MASSIQUE BASÉ SUR LA PRESSION À CORRECTION AUTOMATIQUE
Abrégé : front page image
(EN)A self-correcting pressure-based mass flow control apparatus includes outlet pressure sensing to enable correction for non-ideal operating conditions. Further the mass flow control apparatus having a fluid pathway, a shutoff valve in the fluid pathway, a reference volume in the fluid pathway, a first pressure measuring sensor in fluid communication with the reference volume, a first temperature measuring sensor providing a temperature signal indicative of the fluid temperature within the reference volume, a proportional valve in the fluid pathway, and a second pressure measuring sensor in fluid communication with the fluid pathway.
(FR)L'invention concerne un appareil de régulation de débit massique basée sur la pression à correction automatique comprenant une fonction de détection de pression de sortie pour permettre une correction dans des conditions de fonctionnement non idéales. En outre, l'appareil de régulation de débit massique comprend un passage de fluide, une vanne d'arrêt dans le passage de fluide, un volume de référence dans le passage de fluide, un premier capteur de mesure de pression en communication fluidique avec le volume de référence, un premier capteur de mesure de température fournissant un signal de température indiquant la température du fluide à l'intérieur du volume de référence, une soupape proportionnelle dans le passage de fluide, et un second capteur de mesure de pression en communication fluidique avec le passage de fluide.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)