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1. (WO2018053378) ÉMETTEURS VERTICAUX INTÉGRÉS À UN FOND DE PANIER DE COMMANDE EN SILICIUM

Pub. No.:    WO/2018/053378    International Application No.:    PCT/US2017/051948
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Sep 19 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01S 5/026
H01S 5/183
H01L 27/15
H01L 25/16
Applicants: MONTROSE LABORATORIES LLC
Inventors:
Title: ÉMETTEURS VERTICAUX INTÉGRÉS À UN FOND DE PANIER DE COMMANDE EN SILICIUM
Abstract:
Un procédé de fabrication comprend la fabrication d'un réseau (22) d'émetteurs verticaux (32) par dépôt de multiples couches épitaxiales sur un substrat semi-conducteur III-V (20), et la fabrication de circuits de commande (30) pour les émetteurs verticaux sur un substrat en silicium (26). Des côtés avant respectifs (52) des émetteurs verticaux sont liés au substrat en silicium en alignement avec les circuits de commande. Après la liaison des côtés avant respectifs, le substrat semi-conducteur III-V est aminci à l'opposé des côtés arrière respectifs (50) des émetteurs verticaux, et des traces métalliques (78) sont déposées sur les émetteurs verticaux pour connecter les émetteurs verticaux aux circuits de commande.