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1. (WO2018052909) MÉTROLOGIE DE TRAJECTOIRE CIBLE DANS UNE SOURCE DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
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N° de publication :    WO/2018/052909    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/051208
Date de publication : 22.03.2018 Date de dépôt international : 12.09.2017
CIB :
H05G 2/00 (2006.01), G03F 7/20 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : PRICE, Michael, Leslie; (US).
MITRY, Mark, Joseph; (US).
STINSON, Cory, Alan; (US)
Mandataire : NGUYEN, Joseph, A.; (US)
Données relatives à la priorité :
15/265,373 14.09.2016 US
Titre (EN) TARGET TRAJECTORY METROLOGY IN AN EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT SOURCE
(FR) MÉTROLOGIE DE TRAJECTOIRE CIBLE DANS UNE SOURCE DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
Abrégé : front page image
(EN)A method is described for measuring a moving property of a target. The method includes: forming a remaining plasma that at least partially coincides with an extended target region, the remaining plasma being a plasma formed from an interaction between a prior target and a prior radiation pulse in a target space; releasing a current target along a trajectory toward the target space that is at least partly overlapping the extended target region; determining one or more moving properties of the current target when the current target is within the extended target region and after a prior and adjacent target has interacted with a prior radiation pulse in the target space; and if any of the determined one or more moving properties of the current target are outside an acceptable range, then adjusting one or more characteristics of a radiation pulse directed toward the target space.
(FR)La présente invention concerne un procédé de mesure d’une propriété de déplacement d’une cible. Le procédé comprend : la formation d’un plasma résiduel qui coïncide au moins partiellement avec une région cible étendue, le plasma résiduel étant un plasma formé à partir d’une interaction entre une cible précédente et une impulsion de rayonnement antérieure dans un espace cible ; la libération d’une cible actuelle le long d’une trajectoire vers l’espace cible qui chevauche au moins partiellement la région cible étendue ; la détermination d’une ou plusieurs propriétés de déplacement de la cible actuelle lorsque la cible actuelle est dans la région cible étendue et après qu’une cible antérieure et adjacente ait interagi avec une impulsion de rayonnement précédente dans l’espace cible ; et si l’une quelconque des une ou plusieurs propriétés de déplacement déterminées de la cible actuelle est en dehors d’une plage acceptable, alors l’ajustement d’une ou plusieurs caractéristiques d’une impulsion de rayonnement dirigée vers l’espace cible.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)