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1. (WO2018052579) REMPLISSAGE MÉTALLIQUE PARTIEL POUR EMPÊCHER UNE DÉLAMINATION DIÉLECTRIQUE À CONSTANTE DIÉLECTRIQUE EXTRÊMEMENT FAIBLE

Pub. No.:    WO/2018/052579    International Application No.:    PCT/US2017/045979
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 09 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 23/522
H01L 23/528
Applicants: QUALCOMM INCORPORATED
Inventors: WANG, Zhongze
CHEN, Guoqing
Title: REMPLISSAGE MÉTALLIQUE PARTIEL POUR EMPÊCHER UNE DÉLAMINATION DIÉLECTRIQUE À CONSTANTE DIÉLECTRIQUE EXTRÊMEMENT FAIBLE
Abstract:
Un remplissage métallique partiel est prévu à l'intérieur de l'empreinte d'un conducteur métallique ultra-épais (MUE) sur une couche diélectrique pour renforcer la couche diélectrique afin d'empêcher la délamination du conducteur MUE sans induire de couplage électrique significatif entre le conducteur MUE et le remplissage métallique partiel.