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1. (WO2018052533) PEAU TEXTURÉE POUR COMPOSANTS DE CHAMBRE
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N° de publication :    WO/2018/052533    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/043683
Date de publication : 22.03.2018 Date de dépôt international : 25.07.2017
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054 (US)
Inventeurs : SHEELAVANT, Gangadhar; (IN).
BADUVAMANDA, Cariappa Achappa; (IN).
VAIDYA, Kaushik; (IN).
VASANTHA, Bopanna Ichettira; (IN)
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; (US).
TABOADA, Keith; (US)
Données relatives à la priorité :
62/393,879 13.09.2016 US
62/430,096 05.12.2016 US
Titre (EN) TEXTURED SKIN FOR CHAMBER COMPONENTS
(FR) PEAU TEXTURÉE POUR COMPOSANTS DE CHAMBRE
Abrégé : front page image
(EN)A chamber component for a processing chamber is disclosed herein. In one embodiment, a chamber component for a processing chamber has a base component body. The base component body has an exterior surface configured to face a processing environment of the processing chamber. A textured skin is conformable to the exterior surface. The textured skin has a first side configured to be disposed against the exterior surface and a second side facing away from the first side. The second side has a plurality of engineered features configured to enhance adhesion of material deposited on the textured skin during use of the processing chamber.
(FR)L'invention concerne un composant de chambre destiné à une chambre de traitement. Dans un mode de réalisation, un composant de chambre pour une chambre de traitement comporte un corps de composant de base. Le corps de composant de base a une surface extérieure configurée pour faire face à un environnement de traitement de la chambre de traitement. Une peau texturée est conforme à la surface extérieure. La peau texturée a un premier côté configuré pour être disposé contre la surface extérieure et un second côté opposé au premier côté. Le second côté a une pluralité de caractéristiques techniques configurées pour améliorer l'adhérence du matériau déposé sur la peau texturée pendant l'utilisation de la chambre de traitement.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)