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1. (WO2018052270) ASSEMBLAGE PIÈGE DE LIGNE D'ÉCHAPPEMENT DE DISPOSITIF DE DOPAGE AU BORE
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N° de publication :    WO/2018/052270    N° de la demande internationale :    PCT/KR2017/010239
Date de publication : 22.03.2018 Date de dépôt international : 19.09.2017
CIB :
H01L 31/18 (2006.01), H01L 31/0248 (2006.01), H01L 31/06 (2006.01)
Déposants : LEAD ENGINEERING CO., LTD [KR/KR]; 389, Osangajwa-ro Oksan-myeon, Heungdeok-gu Cheongju-si Chungcheongbuk-do 28101 (KR)
Inventeurs : KIM, Hyun Ho; (KR)
Mandataire : LEE, Un Cheol; (KR)
Données relatives à la priorité :
10-2016-0118096 13.09.2016 KR
Titre (EN) EXHAUST LINE TRAP ASSEMBLY OF BORON DOPING DEVICE
(FR) ASSEMBLAGE PIÈGE DE LIGNE D'ÉCHAPPEMENT DE DISPOSITIF DE DOPAGE AU BORE
(KO) 보론 도핑장치의 배기라인 트랩 어셈블리
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to an exhaust line trap assembly of a boron doping device and, more particularly, to an exhaust line trap assembly of a boron doping device, wherein a sealing member made of Teflon, which has excellent heat resistance, is interposed between an exhaust line made of quartz and a connection tube of a trap, and fumes discharged from the exhaust line undergo gas/liquid separation, thereby increasing purification efficiency. To this end, there is provided an exhaust line trap assembly of a boron doping device, comprising: an exhaust line for discharging hot fumes generated from a process tube of the boron doping device; a trap that is connected to the exhaust line and comprises a connection tube, through which the fumes discharged from the exhaust line are introduced, so as to purify the fumes; a sealing member interposed between the exhaust line and the connection tube so as to form a pipeline through which the exhaust line and the connection tube communicate with each other; and a connection means for compressing and connecting the exhaust line and the connection tube, wherein the exhaust line and the connection tube comprise tight-contact portions having open grooves formed to be open toward each other, respectively, and having diameters larger than the diameters of the exhaust line and of the connection tube, and the sealing member is interposed between the open grooves of the tight-contact portions.
(FR)La présente invention concerne un assemblage piège de ligne d'échappement d'un dispositif de dopage au bore et, plus particulièrement, un assemblage piège de ligne d'échappement d'un dispositif de dopage au bore, un élément d'étanchéité en téflon, qui présente une excellente résistance à la chaleur, étant interposé entre une ligne d'échappement en quartz et un tube de raccordement d'un piège, et les fumées évacuées de la ligne d'échappement subissent une séparation gaz/liquide, ce qui permet d'augmenter l'efficacité de purification. A cet effet, l'invention concerne un assemblage piège à ligne d'échappement d'un dispositif de dopage au bore, comprenant: une ligne d'échappement pour évacuer les fumées chaudes générées à partir d'un tube de traitement du dispositif de dopage au bore; un piège qui est relié à la ligne d'échappement et comprend un tube de raccordement, à travers lequel les fumées évacuées de la ligne d'échappement sont introduites, de manière à purifier les fumées; un élément d'étanchéité interposé entre la ligne d'échappement et le tube de raccordement de manière à former un pipeline à travers lequel la ligne d'échappement et le tube de raccordement communiquent l'un avec l'autre; et un moyen de raccordement pour comprimer et relier la ligne d'échappement et le tube de raccordement, la ligne d'échappement et le tube de raccordement comprenant des parties de contact étroit ayant des rainures ouvertes formées pour être ouvertes les unes vers les autres, respectivement, et ayant des diamètres plus grands que les diamètres de la ligne d'échappement et du tube de raccordement, et l'élément d'étanchéité est interposé entre les rainures ouvertes des parties de contact étroit.
(KO)본 발명은 보론 도핑장치의 배기라인 트랩 어셈블리에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 석영으로 이루어진 배기라인과 트랩의 연결관 사이에 내열서잉 뛰어난 테프론 재질의 씰링부재를 개재시키고, 배기라인으로부터 배출된 흄의 기액분리를 통해 정화 효율성을 높인 보론 도핑장치의 배기라인 트랩 어셈블리에 관한 것이다. 이를 위해, 보론 도핑장치의 프로세스 튜브로부터 발생한 고온의 흄(fume)이 배출되는 배기라인;상기 배기라인에 연결되며, 배기라인으로부터 배기된 흄이 유입되는 연결관을 포함하며 상기 흄을 정화시키는 트랩;상기 배기라인과 연결관 사이에 개재되며, 배기라인과 연결관을 소통시키는 관로를 형성하는 씰링부재;상기 배기라인과 연결관을 압착하여 연결시키는 연결수단:을 포함하여 구성되되, 상기 배기라인과 연결관은, 서로를 향해 개구된 개구홈을 형성하며, 배기라인 및 연결관의 직경에 비해 큰 직경을 갖는 밀착부를 포함하며, 상기 씰링부재는 밀착부의 개구홈 사이에 개재된 것을 특징으로 하는 보론 도핑장치의 배기라인 트랩 어셈블리를 제공한다.
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : coréen (KO)
Langue de dépôt : coréen (KO)