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1. (WO2018051921) MAIN DE TRANSPORT DE SUBSTRAT, ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
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N° de publication :    WO/2018/051921    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/032527
Date de publication : 22.03.2018 Date de dépôt international : 08.09.2017
CIB :
H01L 21/677 (2006.01), B65G 49/07 (2006.01)
Déposants : KAWASAKI JUKOGYO KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 1-1, Higashikawasaki-cho 3-chome, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6508670 (JP)
Inventeurs : HASHIMOTO, Yasuhiko; (--).
YOSHIDA, Tetsuya; (--)
Mandataire : PATENT CORPORATE BODY ARCO PATENT OFFICE; 3rd Fl., Bo-eki Bldg., 123-1, Higashimachi, Chuo-ku, Kobe-shi, Hyogo 6500031 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-178945 13.09.2016 JP
Titre (EN) SUBSTRATE TRANSPORT HAND, SUBSTRATE TRANSPORT ROBOT, AND SUBSTRATE TRANSFER DEVICE
(FR) MAIN DE TRANSPORT DE SUBSTRAT, ROBOT DE TRANSPORT DE SUBSTRAT ET DISPOSITIF DE TRANSFERT DE SUBSTRAT
(JA) 基板搬送ハンド、基板搬送ロボット、及び基板移載装置
Abrégé : front page image
(EN)A substrate transport hand is provided with a base portion linked with a robot arm, and a substrate holding unit which is linked with the base portion and holds a substrate. The substrate transport hand, as viewed from a substrate perpendicular direction that is a direction vertically penetrating the substrate being held by the substrate holding unit, is bent at or in the vicinity of a link portion of the base portion and the substrate holding unit, such that the base portion and the substrate holding unit as a whole have a V-shape.
(FR)La présente invention concerne une main de transport de substrat qui est pourvue d'une partie de base reliée à un bras de robot, et d'une unité de maintien de substrat qui est reliée à la partie de base et maintient un substrat. La main de transport de substrat, observée depuis une direction perpendiculaire au substrat qui est une direction pénétrant verticalement dans le substrat maintenu par l'unité de maintien de substrat, est pliée au niveau ou à proximité d'une partie de liaison de la partie de base et de l'unité de maintien de substrat, de telle sorte que la partie de base et l'unité de maintien de substrat dans leur ensemble ont une forme en V.
(JA)基板搬送ハンドは、ロボットアームと連結される基部と、基部と結合され、基板を保持する基板保持部とを備える。この基板搬送ハンドは、基板保持部に保持される基板を垂直に貫く方向である基板垂線方向から見て、基部と基板保持部との結合部又はその近傍において折れ曲がって、基部及び基板保持部が全体としてV字形状を呈する。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)