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1. (WO2018051716) PROCÉDÉ DE RAFFINAGE DE SOLVANT ORGANIQUE ET APPAREIL DE RAFFINAGE DE SOLVANT ORGANIQUE

Pub. No.:    WO/2018/051716    International Application No.:    PCT/JP2017/029547
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Aug 18 01:59:59 CEST 2017
IPC: C07C 41/42
G03F 7/004
G03F 7/16
G03F 7/26
G03F 7/32
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: KAMIMURA Tetsuya
上村 哲也
Title: PROCÉDÉ DE RAFFINAGE DE SOLVANT ORGANIQUE ET APPAREIL DE RAFFINAGE DE SOLVANT ORGANIQUE
Abstract:
La présente invention aborde le problème consistant à fournir un procédé de raffinage de solvant organique avec lequel il est possible d'obtenir un solvant organique ayant une excellente stabilité et de restreindre l'apparition de défauts dans un dispositif semi-conducteur, et la présente invention aborde le problème de la fourniture d'un appareil de raffinage de solvant organique. Un procédé de raffinage de solvant organique selon la présente invention comprend : une étape de distillation dans laquelle un solvant organique contenant un stabilisant est distillé, le stabilisant dans le solvant organique est diminué, et la teneur du stabilisant dans le solvant organique est amenée à être compris entre 0,1 et 30 ppm en masse; et après l'étape de distillation, une étape de raffinage, dans laquelle le solvant organique est raffiné à l'aide d'au moins un élément parmi un élément de filtre ayant un filtre dont la taille de particule éliminée est inférieure ou égale à 20 nm et un élément d'adsorption d'ions métalliques, le procédé de raffinage de solvant organique ne comprenant pas d'étape d'élimination d'impuretés organiques pour éliminer les impuretés organiques du solvant organique en utilisant un élément d'adsorption d'impuretés organiques.