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1. (WO2018051595) DISPOSITIF D'IMAGERIE ET DISPOSITIF D'ÉMISSION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
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N° de publication :    WO/2018/051595    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/022569
Date de publication : 22.03.2018 Date de dépôt international : 19.06.2017
CIB :
H01J 37/16 (2006.01), G21K 5/00 (2006.01), G21K 5/04 (2006.01), H01J 37/18 (2006.01), H01J 37/244 (2006.01)
Déposants : TORAY ENGINEERING CO., LTD. [JP/JP]; Yaesu Ryumeikan Bldg., 3-22, Yaesu 1-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030028 (JP)
Inventeurs : SUZUKI, Kazuyoshi; (JP).
OKUBO, Kenji; (JP).
KAWASAKI, Kiyoshi; (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-181848 16.09.2016 JP
Titre (EN) IMAGING DEVICE AND ELECTRON BEAM EMITTING DEVICE
(FR) DISPOSITIF D'IMAGERIE ET DISPOSITIF D'ÉMISSION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
(JA) 撮像装置および電子線照射装置
Abrégé : front page image
(EN)Provided is an imaging device that is capable of mitigating or preventing positional shifting and changes in the orientation of an imaging unit even when a chamber is deformed due to depressurization inside the chamber. Specifically, this imaging device, which is for imaging an object inside a depressurized atmosphere, is provided with a chamber, an imaging unit, a communication unit, and a reference frame that is disposed apart from the chamber and that has a rigid structure for securing the imaging unit in a predetermined orientation, wherein the communication unit is provided with an elastic air-tight holding unit that connects the imaging unit in an air-tight manner.
(FR)La présente invention concerne un dispositif d'imagerie qui permet d'atténuer ou d'empêcher un décalage et des changements de position dans l'orientation d'une unité d'imagerie même lorsqu'une chambre est déformée en raison de la dépressurisation à l'intérieur de la chambre. Spécifiquement, ce dispositif d'imagerie, qui est destiné à imager un objet à l'intérieur d'une atmosphère dépressurisée, est pourvu d'une chambre, d'une unité d'imagerie, d'une unité de communication, et d'un cadre de référence qui est disposé à distance de la chambre et qui présente une structure rigide permettant de fixer l'unité d'imagerie dans une orientation prédéterminée, l'unité de communication étant pourvue d'une unité de retenue élastique étanche à l'air qui relie l'unité d'imagerie de manière étanche à l'air.
(JA)チャンバ内を減圧することでチャンバに変形が生じても、撮像部の位置ずれや姿勢の変化を緩和ないし防ぐことができる撮像装置を提供すること。 具体的には、減圧された雰囲気内にある撮像対象を撮像する撮像装置であって、 チャンバと、撮像部と、連通部と、 チャンバとは離隔して配置されて、撮像部を所定の姿勢で固定する剛性構造の基準フレームとを備え、 連通部は、撮像部を気密に接続する弾性気密保持部を備えた撮像装置である。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)