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1. (WO2018051595) DISPOSITIF D'IMAGERIE ET DISPOSITIF D'ÉMISSION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS

Pub. No.:    WO/2018/051595    International Application No.:    PCT/JP2017/022569
Publication Date: Fri Mar 23 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jun 20 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/16
G21K 5/00
G21K 5/04
H01J 37/18
H01J 37/244
Applicants: TORAY ENGINEERING CO., LTD.
東レエンジニアリング株式会社
Inventors: SUZUKI, Kazuyoshi
鈴木 一嘉
OKUBO, Kenji
大久保 憲治
KAWASAKI, Kiyoshi
河▲崎▼ 喜代司
Title: DISPOSITIF D'IMAGERIE ET DISPOSITIF D'ÉMISSION DE FAISCEAU D'ÉLECTRONS
Abstract:
La présente invention concerne un dispositif d'imagerie qui permet d'atténuer ou d'empêcher un décalage et des changements de position dans l'orientation d'une unité d'imagerie même lorsqu'une chambre est déformée en raison de la dépressurisation à l'intérieur de la chambre. Spécifiquement, ce dispositif d'imagerie, qui est destiné à imager un objet à l'intérieur d'une atmosphère dépressurisée, est pourvu d'une chambre, d'une unité d'imagerie, d'une unité de communication, et d'un cadre de référence qui est disposé à distance de la chambre et qui présente une structure rigide permettant de fixer l'unité d'imagerie dans une orientation prédéterminée, l'unité de communication étant pourvue d'une unité de retenue élastique étanche à l'air qui relie l'unité d'imagerie de manière étanche à l'air.