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1. (WO2018050551) MICROPHONE À RÉSONANCE DE CISAILLEMENT EN PORTE-À-FAUX
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N° de publication : WO/2018/050551 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/072581
Date de publication : 22.03.2018 Date de dépôt international : 08.09.2017
CIB :
H04R 17/02 (2006.01) ,H04R 31/00 (2006.01)
Déposants : ROBERT BOSCH GMBH[DE/DE]; Postfach 30 02 20 70442 Stuttgart, DE
Inventeurs : HATIPOGLU, Gokhan; US
Données relatives à la priorité :
15/26376513.09.2016US
Titre (EN) CANTILEVERED SHEAR RESONANCE MICROPHONE
(FR) MICROPHONE À RÉSONANCE DE CISAILLEMENT EN PORTE-À-FAUX
Abrégé : front page image
(EN) A MEMS microphone (100) includes a base structure (116) and a piezoelectric resonator body (120) having a first end and a second end. The first end is fixedly supported by the base structure (116) and the second end is free such that the piezoelectric resonator is cantilevered from the base structure. The MEMS microphone (100) further includes a first electrode (152) operably connected to the piezoelectric resonator body and a second electrode (156) operably connected to the piezoelectric resonator body (120). A controller (220) includes at least one circuit operably connected to the first and second electrodes (152, 156) and configured to drive the piezoelectric resonator body (120) at a shear resonance frequency of the piezoelectric resonator body and to detect a difference in the shear resonance frequency from a baseline resonance frequency resulting from a sound pressure.
(FR) La présente invention concerne un microphone MEMS (100) comprenant une structure de base (116) et un corps de résonateur piézoélectrique (120) ayant une première extrémité et une seconde extrémité. La première extrémité est supportée de manière fixe par la structure de base (116) et la seconde extrémité est libre de telle sorte que le résonateur piézoélectrique est en porte-à-faux à partir de la structure de base. Le microphone MEMS (100) comprend en outre une première électrode (152) connectée de manière fonctionnelle au corps de résonateur piézoélectrique et une seconde électrode (156) connectée de manière fonctionnelle au corps de résonateur piézoélectrique (120). Un dispositif de commande (220) comprend au moins un circuit connecté fonctionnellement aux première et seconde électrodes (152, 156) et conçu pour entraîner le corps de résonateur piézoélectrique (120) à une fréquence de résonance de cisaillement du corps de résonateur piézoélectrique et pour détecter une différence dans la fréquence de résonance de cisaillement à partir d'une fréquence de résonance de ligne de base résultant d'une pression sonore.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)