Recherche dans les collections de brevets nationales et internationales

1. (WO2018048949) APPAREIL ET PROCÉDÉ DE CORRECTION DE L'ASTIGMATISME EN RÉSEAU DANS UN SYSTÈME DE MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE À COLONNES MULTIPLES

Pub. No.:    WO/2018/048949    International Application No.:    PCT/US2017/050342
Publication Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Sep 07 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/28
H01J 37/22
Applicants: KLA-TENCOR CORPORATION
Inventors: BRODIE, Alan
Title: APPAREIL ET PROCÉDÉ DE CORRECTION DE L'ASTIGMATISME EN RÉSEAU DANS UN SYSTÈME DE MICROSCOPIE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE À COLONNES MULTIPLES
Abstract:
La présente invention concerne un système de microscopie électronique à balayage (SEM) à faisceaux multiples. Le système comprend une source de faisceau d'électrons conçue pour générer un faisceau d'électrons de source. Le système comprend un ensemble d'éléments électro-optiques conçus pour générer un faisceau d'électrons large à partir du faisceau d'électrons de source. Le système comprend un réseau de lentilles à faisceaux multiples ayant une pluralité de chemins électro-optiques conçus pour diviser le faisceau d'électrons large en une pluralité de faisceaux d'électrons primaires, et une pluralité de couches de réseau électriquement chargées conçues pour régler au moins une partie de la pluralité de faisceaux d'électrons primaires. Le système comprend un ensemble d'éléments électro-optiques conçus pour diriger au moins une partie de la pluralité de faisceaux d'électrons primaires sur une surface d'un échantillon fixé par un étage. Le système comprend un réseau de détecteurs conçu pour détecter une pluralité d'électrons émis à partir de la surface de l'échantillon en réponse à la pluralité de faisceaux d'électrons primaires.