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1. (WO2018048802) APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT

Pub. No.:    WO/2018/048802    International Application No.:    PCT/US2017/050085
Publication Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Sep 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/677
H01L 21/687
Applicants: BROOKS AUTOMATION, INC.
Inventors: CAVINS, Jeffrey, A.
SHARROCK, Leigh, F.
LETOURNEAU, Kyle, M.
MCKINNEY, Stacy
JARZYNKA, Dave
Title: APPAREIL DE TRAITEMENT DE SUBSTRAT
Abstract:
La présente invention concerne un appareil de traitement de substrat comprenant un cadre et au moins un bras de transport de substrat ayant au moins un effecteur terminal, chaque effecteur terminal ayant une partie de base, des première et seconde dents de support de substrat montées sur la partie de base et dépendantes de cette dernière, au moins l'une des première et seconde dents de support de substrat étant mobile par rapport à la partie de base, chacune des première et seconde dents de support de substrat ayant des contacts de substrat respectifs conçus pour entrer en contact avec et soutenir un substrat maintenu par l'effecteur terminal entre les contacts respectifs des première et seconde dents de support de substrat au niveau d'une étendue de dimension de siège de support de substrat entre les contacts de substrat des première et seconde dents de support de substrat, et une section d'entraînement d'effecteur terminal conçue pour faire varier une distance entre les première et seconde dents de support de substrat l'une par rapport à l'autre à la volée.