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1. (WO2018048566) COMMANDE D'ANGLE POUR RADICAUX ET FAISCEAUX IONIQUES NEUTRES RÉACTIFS
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N° de publication : WO/2018/048566 N° de la demande internationale : PCT/US2017/046207
Date de publication : 15.03.2018 Date de dépôt international : 10.08.2017
CIB :
H01J 37/305 (2006.01) ,H01J 37/304 (2006.01)
Déposants : VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.[US/US]; 35 Dory Road Gloucester, Massachusetts 01930, US
Inventeurs : GILCHRIST, Glen FR; US
LIANG, Shurong; US
Mandataire : FRAME, Robert C.; US
LEMACK, Kevin S.; US
Données relatives à la priorité :
15/262,47112.09.2016US
Titre (EN) ANGLE CONTROL FOR RADICALS AND REACTIVE NEUTRAL ION BEAMS
(FR) COMMANDE D'ANGLE POUR RADICAUX ET FAISCEAUX IONIQUES NEUTRES RÉACTIFS
Abrégé : front page image
(EN) A workpiece processing apparatus allowing independent control of the extraction angles of charged ions and reactive neutrals is disclosed. The apparatus includes an extraction plate having an extraction aperture through which charged ions pass. Plasma sheath modulation and electric fields may be used to determine the extraction angle of the charged ions. The extraction plate also includes one or more neutral species channels, separate from the extraction aperture, through which reactive neutrals are passed at a selected extraction angle. The geometric configuration of the neutral species channels determines the extraction angle of the reactive neutrals. The neutral species channel may also comprise a suppressor, to reduce the number of charged ions that pass through the neutral species channel. The apparatus may be used for various applications, such as directed reactive ion etching.
(FR) L'invention concerne un appareil de traitement de pièce usinée permettant une commande indépendante des angles d'extraction d'ions chargés et de neutres réactifs. L'appareil comprend une plaque d'extraction ayant une ouverture d'extraction à travers laquelle passent des ions chargés. Une modulation de gaine de Plasma et des champs électriques peuvent être utilisés pour déterminer l'angle d'extraction des ions chargés. La plaque d'extraction comprend également un ou plusieurs canaux d'espèces neutres, séparés de l'ouverture d'extraction, à travers lesquels des neutres réactifs passent à un angle d'extraction sélectionné. La configuration géométrique des canaux d'espèces neutres détermine l'angle d'extraction des neutres réactifs. Le canal d'espèce neutre peut également comprendre un suppresseur, pour réduire le nombre d'ions chargés qui passent à travers le canal d'espèces neutres. L'appareil peut être utilisé pour diverses applications, telles que la gravure ionique réactive dirigée.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)