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1. (WO2018048482) EMPILEMENT DE TRANCHES EN VUE DE FORMER UNE STRUCTURE LIÉE MULTI-TRANCHE

Pub. No.:    WO/2018/048482    International Application No.:    PCT/US2017/030796
Publication Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu May 04 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/683
Applicants: RAYTHEON COMPANY
Inventors: CAHILL, Andrew
GETTY, Jonathan
LOFGREEN, Daniel, D.
DRAKE, Paul, A.
Title: EMPILEMENT DE TRANCHES EN VUE DE FORMER UNE STRUCTURE LIÉE MULTI-TRANCHE
Abstract:
Selon un aspect de la présente invention, un procédé consiste : à chauffer un support individuel de tranche ; à chauffer une première tranche ; à déposer un premier époxy le long d'au moins une partie d'une surface de la première tranche se trouvant sur le support individuel de tranche ; à faire tourner le support individuel de tranche en vue de répandre le premier époxy, au moins en partie, sur l'ensemble de la première tranche ; à placer une deuxième tranche sur le premier époxy se trouvant sur la première tranche ; et à lier sous vide la deuxième tranche au premier époxy en vue de former une structure liée à deux tranches.