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1. (WO2018048005) MODULE DE PROTECTION DE MASQUE, PELLICULE COMPRENANT CELUI-CI, ET DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE COMPRENANT CELUI-CI

Pub. No.:    WO/2018/048005    International Application No.:    PCT/KR2016/010478
Publication Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Sep 21 01:59:59 CEST 2016
IPC: G03F 7/20
G03F 1/00
H01L 21/027
Applicants: IUCF-HYU(INDUSTRY-UNIVERSITY COOPERATION FOUNDATION HANYANG UNIVERSITY)
한양대학교 산학협력단
Inventors: AHN, Jinho
안진호
KIM, Junghwan
김정환
HONG, Seongchul
홍성철
Title: MODULE DE PROTECTION DE MASQUE, PELLICULE COMPRENANT CELUI-CI, ET DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE COMPRENANT CELUI-CI
Abstract:
L'invention concerne un module de protection de masque. Le module de protection de masque comprend un cadre et une membrane supportée par le cadre, et la membrane peut comprendre des zones qui sont différentes les unes des autres en termes d'au moins un paramètre sélectionné parmi la transmission optique, le coefficient de transmission de chaleur et la résistance mécanique.