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1. (WO2018047440) STRUCTURE DE CANAUX D'ÉCOULEMENT ET APPAREIL DE TRAITEMENT
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N° de publication :    WO/2018/047440    N° de la demande internationale :    PCT/JP2017/023442
Date de publication : 15.03.2018 Date de dépôt international : 26.06.2017
CIB :
C23C 16/455 (2006.01), H01L 21/31 (2006.01)
Déposants : KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA [JP/JP]; 1-1, Shibaura 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058001 (JP)
Inventeurs : TERADA, Takahiro; (JP).
KATO, Shiguma; (JP).
HIGASHI, Shinya; (JP).
TANAKA, Masayuki; (JP).
MATSUDA, Takuya; (JP)
Mandataire : SAKAI INTERNATIONAL PATENT OFFICE; Toranomon Mitsui Building, 8-1, Kasumigaseki 3-chome, Chiyoda-ku, Tokyo 1000013 (JP)
Données relatives à la priorité :
2016-177821 12.09.2016 JP
Titre (EN) FLOW CHANNEL STRUCTURE AND PROCESSING APPARATUS
(FR) STRUCTURE DE CANAUX D'ÉCOULEMENT ET APPAREIL DE TRAITEMENT
(JA) 流路構造及び処理装置
Abrégé : front page image
(EN)The flow channel structure according to an embodiment comprises a member. The member has a surface and is provided with a first passage, multiple first openings, a second passage, and multiple second openings. The first passage comprises multiple first loops that are connected to each other. The multiple first openings are connected to the first passage and open at the surface. The second passage comprises multiple second loops that are connected to each other. The multiple second openings are connected to the second passage and open at the surface. The first loops pass through the inside of the second loops, separated from said second loops. The second loops pass through the inside of the first loops, separated from said first loops.
(FR)Selon un mode de réalisation, cette invention concerne une structure de canaux d'écoulement comprenant un élément. L'élément a une surface et il est pourvu d'un premier passage, de multiples premières ouvertures, d'un second passage et de multiples secondes ouvertures. Le premier passage comprend de multiples premières boucles qui sont reliées les unes aux autres. Les multiples premières ouvertures sont reliées au premier passage et débouchent à la surface. Le second passage comprend de multiples secondes boucles qui sont reliées les unes aux autres. Les multiples secondes ouvertures sont reliées au second passage et débouchent à la surface. Les premières boucles passent à travers l'intérieur des secondes boucles, tout en étant séparées desdites secondes boucles. Les secondes boucles passent à travers l'intérieur des premières boucles, tout en étant séparées desdites premières boucles.
(JA)一つの実施形態に係る流路構造は、部材を有する。前記部材は、表面を有し、第1の通路と、複数の第1の開口と、第2の通路と、複数の第2の開口と、が設けられる。前記第1の通路は、互いに接続された複数の第1の閉路部を含む。前記複数の第1の開口は、前記第1の通路に接続され前記表面で開口される。前記第2の通路は、互いに接続された複数の第2の閉路部を含む。前記複数の第2の開口は、前記第2の通路に接続され前記表面で開口される。前記第1の閉路部は、前記第2の閉路部の内側を当該第2の閉路部から隔てられて通る。前記第2の閉路部は、前記第1の閉路部の内側を当該第1の閉路部から隔てられて通る。
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)