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1. (WO2018046831) PROCEDE DE TRANSPORT ET DE STOCKAGE D'UNE PLAQUE SEMICONDUCTRICE EN ENCEINTE HERMETIQUE

Pub. No.:    WO/2018/046831    International Application No.:    PCT/FR2017/052340
Publication Date: Fri Mar 16 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Sep 06 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/673
Applicants: CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUE
UNIVERSITE GRENOBLE ALPES
Inventors: PELISSIER, Bernard
Title: PROCEDE DE TRANSPORT ET DE STOCKAGE D'UNE PLAQUE SEMICONDUCTRICE EN ENCEINTE HERMETIQUE
Abstract:
L'invention concerne un procédé de transport et/ou de stockage d'au moins une plaque semiconductrice, dans lequel la plaque est disposée dans une enceinte hermétique (1) remplie d'hydrogène à une pression comprise entre 10-1 et 4*103 Pa et éventuellement d'au moins un gaz neutre, la pression totale dans la boîte étant comprise entre 10-1 et 5*104 Pa.