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1. (WO2018046272) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UNE PROPRIÉTÉ D'UNE STRUCTURE, APPAREIL D'INSPECTION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
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N° de publication :    WO/2018/046272    N° de la demande internationale :    PCT/EP2017/070845
Date de publication : 15.03.2018 Date de dépôt international : 17.08.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01), G01N 21/956 (2006.01)
Déposants : ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven (NL)
Inventeurs : VAN DER POST, Sietse, Thijmen; (NL).
VAN BERKEL, Koos; (NL)
Mandataire : PETERS, John; (NL)
Données relatives à la priorité :
62/393,521 12.09.2016 US
Titre (EN) METHOD OF DETERMINING A PROPERTY OF A STRUCTURE, INSPECTION APPARATUS AND DEVICE MANUFACTURING METHOD
(FR) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION D'UNE PROPRIÉTÉ D'UNE STRUCTURE, APPAREIL D'INSPECTION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE DISPOSITIF
Abrégé : front page image
(EN)An optical system and detector captures a distribution of radiation modified by interaction with a target structure. The observed distribution is used to calculate a property of the structure (e.g. CD or overlay). A condition error (e.g. focus error) associated with the optical system is variable between observations. The actual condition error specific to each capture is recorded and used to apply a correction for a deviation of the observed distribution due to the condition error specific to the observation. The correction in one practical example is based on a unit correction previously defined with respect to a unit focus error. This unit correction can be scaled linearly, in accordance with a focus error specific to the observation.
(FR)Un système et un détecteur optiques selon l'invention capturent une distribution de rayonnement modifiée par interaction avec une structure cible. La distribution observée est utilisée pour calculer une propriété de la structure (par exemple CD ou superposition). Une erreur de condition (par exemple une erreur de mise au point) associée au système optique est variable entre les observations. L'erreur de condition réelle spécifique à chaque capture est enregistrée et utilisée pour appliquer une correction pour un écart de la distribution observée lié à l'erreur de condition spécifique à l'observation. La correction dans un exemple pratique est basée sur une correction unitaire précédemment définie par rapport à une erreur de mise au point unitaire. Cette correction unitaire peut être mise à l'échelle de manière linéaire, en fonction d'une erreur de mise au point spécifique à l'observation.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)