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1. (WO2018045197) ALGORITHME DE DÉTECTION DE POINT FINAL POUR GRAVURE DE COUCHE ATOMIQUE (ALE)
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N° de publication :    WO/2018/045197    N° de la demande internationale :    PCT/US2017/049663
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 31.08.2017
CIB :
H01L 21/66 (2006.01), H01L 21/3065 (2006.01)
Déposants : TOKYO ELECTRON LIMITED [JP/JP]; Akasaka Biz Tower 3-1 Akasaka 5-chome Minato-ku, Tokyo 107-6325 (JP).
TOKYO ELECTRON U.S. HOLDINGS, INC. [US/US]; 2400 Grove Boulevard Austin, Texas 78741 (US) (JP only)
Inventeurs : CHEN, Yan; (US).
TIAN, Xinkang; (US).
FERNS, Jason; (US)
Mandataire : MITROVIC, Andrej; (US)
Données relatives à la priorité :
62/382,904 02.09.2016 US
Titre (EN) ENDPOINT DETECTION ALGORITHM FOR ATOMIC LAYER ETCHING (ALE)
(FR) ALGORITHME DE DÉTECTION DE POINT FINAL POUR GRAVURE DE COUCHE ATOMIQUE (ALE)
Abrégé : front page image
(EN)Described herein are architectures, platforms and methods for determining endpoints of an optical emission spectroscopy (OES) data acquired from a plasma processing system. The OES data, for example, includes an absorption - step process, a desorption - step process, or a combination thereof. In this example, the OES data undergoes signal synchronization and transient signal filtering prior to endpoint determination, which may be implemented through an application of a moving average filter.
(FR)La présente invention concerne des architectures, des plateformes et des procédés de détermination de points finaux d’une spectroscopie d’émission optique (OES) acquis à partir d’un système de traitement par plasma. Les données OES, par exemple, comprennent un processus d’étape d’absorption, un processus d’étape de désorption, ou une combinaison de ceux-ci. Dans cet exemple, les données OES subissent une synchronisation de signal et un filtrage de signal transitoire avant une détermination de point final, qui peuvent être mis en œuvre au moyen d’une application d’un filtre moyen mobile.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)