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1. (WO2018044947) SYSTÈME EN LIGNE À SORTANCE

Pub. No.:    WO/2018/044947    International Application No.:    PCT/US2017/049210
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 30 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/22
C23C 16/46
H01L 21/67
H01L 21/78
Applicants: INTEVAC, INC.
Inventors: BLUCK, Terry
PEDERSON, Terry
RUNSTADLER, William Eugene, Jr.
Title: SYSTÈME EN LIGNE À SORTANCE
Abstract:
L'invention concerne un système de traitement d'encapsulation de puce à sortance, une pluralité de micropuces étant encapsulées dans un composé de moulage, le système comprenant : une chambre de chargement atmosphérique conçue pour charger des substrats sur des supports dans un environnement atmosphérique; un agencement de sas de chargement d'entrée conçu pour introduire les supports dans un environnement sous vide du système; une chambre de dégazage positionnée en aval de l'agencement de sas de chargement à l'intérieur de l'environnement sous vide, la chambre de dégazage comprenant un élément chauffant et un agencement de pompage pour éliminer les gaz émis par le composé de moulage; une chambre de gravure positionnée en aval de la chambre de dégazage et à l'intérieur de l'environnement sous vide, la chambre de gravure comprenant un générateur de faisceau d'ions et un neutraliseur d'ions; une chambre de métallisation par pulvérisation positionnée en aval de la chambre de gravure et à l'intérieur de l'environnement sous vide; et un agencement de sas de chargement de sortie conçu pour retirer des supports de l'environnement sous vide.