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1. (WO2018043697) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE PURIFICATION DE SOLVANT ORGANIQUE

Pub. No.:    WO/2018/043697    International Application No.:    PCT/JP2017/031557
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Sep 02 01:59:59 CEST 2017
IPC: B01D 15/00
B01D 61/14
B01D 61/58
B01J 39/05
B01J 39/20
G03F 7/16
G03F 7/32
Applicants: FUJIFILM CORPORATION
富士フイルム株式会社
Inventors: KAMIMURA Tetsuya
上村 哲也
Title: PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DE PURIFICATION DE SOLVANT ORGANIQUE
Abstract:
L’invention a pour objet de fournir un procédé de purification de solvant organique et un dispositif de purification de solvant organique qui permettent d’inhiber l’apparition de défauts dans un dispositif à semi-conducteurs. Le procédé de purification de solvant organique de l’invention inclut une étape d’élimination des impuretés organiques au cours de laquelle les impuretés organiques contenues dans un solvant organique sont éliminées.