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1. (WO2018043680) CIBLE DE PULVÉRISATION À BASE DE FER/PLATINE DISPERSÉE DANS UN MATÉRIAU NON MAGNÉTIQUE

Pub. No.:    WO/2018/043680    International Application No.:    PCT/JP2017/031469
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Sep 01 01:59:59 CEST 2017
IPC: C23C 14/34
B22F 1/00
C22C 5/04
C22C 28/00
C22C 38/00
G11B 5/64
G11B 5/851
B22F 3/14
B22F 3/15
Applicants: JX NIPPON MINING & METALS CORPORATION
JX金属株式会社
Inventors: SATO,Atsushi
佐藤 敦
TAKAMI,Hideo
高見 英生
NAKAMURA,Yuichiro
中村 祐一郎
Title: CIBLE DE PULVÉRISATION À BASE DE FER/PLATINE DISPERSÉE DANS UN MATÉRIAU NON MAGNÉTIQUE
Abstract:
Cette invention concerne une cible de pulvérisation qui permet de réduire la température de traitement thermique pour commander une phase magnétique Fe-Pt, et qui est supprimée lors de la génération de particules pendant la pulvérisation. Une cible de pulvérisation dispersée dans un matériau non magnétique qui contient du Fe, du Pt et du Ge, et qui possède une phase magnétique satisfaisant une composition représentée par (Fe1-alphaPtalpha)1-bêtaGebêta (où alpha et bêta représentent des nombres satisfaisant 0,35 ≤ alpha ≤ 0,55 et 0,05 ≤ bêta ≤ 0,2) par rapport au Fe, au Pt et au Ge en termes de rapport atomique, et la phase magnétique étant configurée de telle sorte que le rapport du rapport de surface moyen (SGe30%en_masse) d'une phase d'alliage à base de Ge ayant une concentration de Ge de 30 % en masse ou plus au rapport de surface (SGe) du Ge tel que calculé à partir de la composition globale de la cible de pulvérisation, à savoir SGe30%en_masse/SGe est inférieur ou égal à 0,5 dans la cartographie d'éléments par microanalyse par électrons d'une surface polie si une section transversale perpendiculaire à la surface de pulvérisation de la cible de pulvérisation est polie.