Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2018043314) DISPOSITIF DE MAINTIEN, SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ARTICLE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/043314 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/030458
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 25.08.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01) ,G02B 5/10 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
G PHYSIQUE
02
OPTIQUE
B
ÉLÉMENTS, SYSTÈMES OU APPAREILS OPTIQUES
5
Eléments optiques autres que les lentilles
08
Miroirs
10
à surfaces courbes
Déposants :
キヤノン株式会社 CANON KABUSHIKI KAISHA [JP/JP]; 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 30-2, Shimomaruko 3-chome, Ohta-ku, Tokyo 1468501, JP
Inventeurs :
遠藤 淳生 ENDO Sunao; JP
和泉 望 IZUMI Nozomu; JP
木村 一貴 KIMURA Kazuki; JP
吉川 智浩 YOSHIKAWA Tomohiro; JP
Mandataire :
阿部 琢磨 ABE Takuma; JP
黒岩 創吾 KUROIWA Sogo; JP
Données relatives à la priorité :
2016-17312105.09.2016JP
Titre (EN) OPTICAL DEVICE, PROJECTION OPTICAL SYSTEM, EXPOSURE APPARATUS, AND METHOD FOR MANUFACTURING ARTICLE
(FR) DISPOSITIF DE MAINTIEN, SYSTÈME OPTIQUE DE PROJECTION, APPAREIL D'EXPOSITION ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UN ARTICLE
(JA) 光学装置、投影光学系、露光装置、および物品の製造方法
Abrégé :
(EN) An optical device for deforming a reflection surface of a mirror comprises: a base surface plate that is disposed opposite the mirror; an actuator that is disposed between the base surface plate and the mirror, and applies force to the mirror; a detection unit that detects a distance between the base surface plate and the mirror; and a processing unit that performs first processing in which the base surface plate is preheated by driving the actuator and brought into a reference state, and after the first processing, second processing in which the actuator is driven such that the shape of the reflection surface approaches a target shape on the basis of shape information indicating the shape of the base surface plate in the reference state and the result of detection by the detection unit.
(FR) L'invention concerne un dispositif optique destiné à déformer une surface de réflexion d'un miroir, comprenant : une plaque de surface de base qui est disposée à l'opposé du miroir ; un actionneur qui est disposé entre la plaque de surface de base et le miroir et qui applique une force au miroir ; une unité de détection qui détecte une distance entre la plaque de surface de base et le miroir ; et une unité de traitement qui effectue un premier traitement dans lequel la plaque de surface de base est préchauffée par entraînement de l'actionneur et amenée dans un état de référence et, après le premier traitement, un deuxième traitement dans lequel l'actionneur est entraîné de telle sorte que la forme de la surface de réflexion approche d'une forme cible sur la base d'informations de forme indiquant la forme de la plaque de surface de base dans l'état de référence et le résultat de la détection par l'unité de détection.
(JA) ミラーの反射面を変形させる光学装置は、前記ミラーと対向して配置されたベース定盤と、前記ベース定盤と前記ミラーとの間に配置され、前記ミラーに力を加えるアクチュエータと、前記ベース定盤と前記ミラーとの間の距離を検出する検出部と、前記アクチュエータの駆動により前記ベース定盤を予熱して前記ベース定盤を基準状態とする第1処理と、該第1処理を行った後、前記基準状態の前記ベース定盤の形状を示す形状情報と前記検出部での検出結果とに基づいて、前記反射面の形状が目標形状に近づくように前記アクチュエータを駆動する第2処理とを行う処理部と、を含む。
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)