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1. (WO2018042897) DISPOSITIF À ÉTAGE ET DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
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N° de publication : WO/2018/042897 N° de la demande internationale : PCT/JP2017/025365
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 12.07.2017
CIB :
H01J 37/20 (2006.01) ,B23Q 1/72 (2006.01) ,G12B 5/00 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
20
Moyens de support ou de mise en position de l'objet ou du matériau; Moyens de réglage de diaphragmes ou de lentilles associées au support
B TECHNIQUES INDUSTRIELLES; TRANSPORTS
23
MACHINES-OUTILS; TRAVAIL DES MÉTAUX NON PRÉVU AILLEURS
Q
PARTIES CONSTITUTIVES, AMÉNAGEMENTS OU ACCESSOIRES DES MACHINES-OUTILS, p.ex. DISPOSITIONS POUR COPIER OU COMMANDER; MACHINES-OUTILS D'UTILISATION GÉNÉRALE, CARACTÉRISÉES PAR LA STRUCTURE DE CERTAINES PARTIES CONSTITUTIVES OU AMÉNAGEMENTS; COMBINAISONS OU ASSOCIATIONS DE MACHINES POUR LE TRAVAIL DES MÉTAUX, NE VISANT PAS UN TRAVAIL PARTICULIER
1
Eléments composant la structure générale d'un type de machine, et plus spécialement gros éléments fixes
72
Agencements auxiliaires; Eléments de liaison entre des tables auxiliaires et des éléments de machine mobiles
G PHYSIQUE
12
DÉTAILS OU PARTIES CONSTITUTIVES DES INSTRUMENTS
B
DÉTAILS OU PARTIES CONSTITUTIVES D'INSTRUMENTS OU DÉTAILS OU PARTIES CONSTITUTIVES COMPARABLES D'AUTRES APPAREILS, NON PRÉVUS AILLEURS
5
Réglage de la position ou de l'attitude, p.ex. niveau d'instruments ou d'autres appareils, ou de leurs parties constitutives; Compensation des effets d'inclinaison ou d'accélération, p.ex. pour appareils d'optique
Déposants :
株式会社日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventeurs :
高橋 宗大 TAKAHASHI Motohiro; JP
水落 真樹 MIZUOCHI Masaki; JP
中川 周一 NAKAGAWA Shuichi; JP
小川 博紀 OGAWA Hironori; JP
加藤 孝宜 KATO Takanori; JP
Mandataire :
ポレール特許業務法人 POLAIRE I.P.C.; 東京都中央区日本橋茅場町二丁目13番11号 13-11, Nihonbashikayabacho 2-chome, Chuo-ku, Tokyo 1030025, JP
Données relatives à la priorité :
2016-16747630.08.2016JP
Titre (EN) STAGE DEVICE AND CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE
(FR) DISPOSITIF À ÉTAGE ET DISPOSITIF DE FAISCEAU DE PARTICULES CHARGÉES
(JA) ステージ装置、及び荷電粒子線装置
Abrégé :
(EN) The present invention relates to a charged particle beam device wherein a table deformation arising from the movement of a rolling element from a guide can be suppressed via a simple constitution. Provided in the sample stage containing a table (105) and a linear guide, which comprises a carriage (201), a rolling element, and a guide rail (202), is a distortion-insulating guide structure characterized by the connection between the carriage (201) and the table (105) being mediated by an adapter (401) that is an elastic deformable member. The invention also provides a stage using the guide structure and a charged particle beam device using the stage.
(FR) La présente invention concerne un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel une déformation de table résultant du mouvement d'un élément roulant à partir d'un guide peut être supprimée par l'intermédiaire d'une constitution simple. Dans l'étage d'échantillon contenant une table (105) et un guide linéaire, qui comprend un chariot (201), un élément roulant et un rail de guidage (202), se trouve une structure de guidage d'isolation de distorsion caractérisée par le fait que la liaison entre le chariot (201) et la table (105) est médiée par un adaptateur (401) qui est un élément déformable élastique. L'invention concerne également un étage utilisant la structure de guidage et un dispositif de faisceau de particules chargées utilisant l'étage.
(JA) 本発明は、簡易な構成でガイドの転動体の移動に起因するテーブル変形を抑制することのできる荷電粒子線装置に関するものであって、キャリッジ(201)と転動体とガイドレール(202)を有するリニアガイドと、テーブル(105)を有する試料ステージにおいて、キャリッジ(201)とテーブル(105)の間を弾性変形可能な部材であるアダプタ(401)を介して接続することを特徴とする歪み絶縁ガイド構造、および前記ガイド構造を用いたステージ、および前記ステージを用いた荷電粒子線装置を提案する。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)