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1. (WO2018042627) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE CIBLE ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2018/042627 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/075832
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 02.09.2016
CIB :
H05G 2/00 (2006.01) ,G03F 7/20 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
G
TECHNIQUE DES RAYONS X
2
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventeurs :
白石 裕 SHIRAISHI, Yutaka; JP
西坂 敏博 NISHISAKA, Toshihiro; JP
Mandataire :
松浦 憲三 MATSUURA, Kenzo; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) TARGET GENERATING DEVICE AND EXTREME UV LIGHT GENERATING DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE CIBLE ET DISPOSITIF DE GÉNÉRATION DE LUMIÈRE ULTRAVIOLETTE EXTRÊME
(JA) ターゲット生成装置及び極端紫外光生成装置
Abrégé :
(EN) A target generating device according to one aspect of the invention comprises a tank for housing a target substance, a heater disposed in the tank, a nozzle communicating with the interior of the tank, a lid part having a gas introduction port communicating with the interior of the tank, and a plurality of shielding plates, disposed in the interior of the tank, for suppressing the entrance of the target substance into the gas introduction port, wherein each of the plurality of shielding plates is provided with at least one non-shielding region portion for letting the gas through. From among the plurality of shielding plates, at least two arbitrary shielding plates have their respective non-shielding region portions positioned in such a manner that it is not possible to see beyond one shielding plate from the other shielding plate and vice versa.
(FR) Selon un aspect de la présente invention, un dispositif de génération de cible comprend un réservoir permettant de recevoir une substance cible, un dispositif de chauffage disposé dans le réservoir, une buse communiquant avec l'intérieur du réservoir, une partie couvercle ayant un orifice d'introduction de gaz communiquant avec l'intérieur du réservoir, et une pluralité de plaques de protection, disposée à l'intérieur du réservoir, permettant de supprimer l'entrée de la substance cible dans l'orifice d'introduction de gaz, chaque plaque de protection de la pluralité de plaques de protection étant pourvue d'au moins une partie de région de non-protection permettant de laisser passer le gaz. Parmi la pluralité de plaques de protection, au moins deux plaques de protection arbitraires ont leurs parties de région de non-protection respectives positionnées de telle sorte qu'il n'est pas possible de voir au-delà d'une plaque de protection à partir de l'autre plaque de protection et vice versa.
(JA) 本開示の一観点に係るターゲット生成装置は、ターゲット物質を収容するタンクと、タンクに配置されたヒータと、タンクの内部と連通するノズルと、タンクの内部と連通するガス導入口を有する蓋部と、タンクの内部に配置され、ガス導入口へのターゲット物質の進入を抑制する複数枚の遮蔽板と、を備え、複数枚の遮蔽板の各々には、ガスを通過させる少なくとも1つの非遮蔽領域部が設けられ、複数枚の遮蔽板のうち少なくともいずれか2枚の遮蔽板の非遮蔽領域部は、2枚の遮蔽板間で相互に見通せない位置に設けられている。
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Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)