Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2018042581) DISPOSITIF DE MESURE DE MOTIF ET PROGRAMME INFORMATIQUE
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/042581 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/075588
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 01.09.2016
CIB :
G01B 15/04 (2006.01)
G PHYSIQUE
01
MÉTROLOGIE; ESSAIS
B
MESURE DE LA LONGUEUR, DE L'ÉPAISSEUR OU DE DIMENSIONS LINÉAIRES ANALOGUES; MESURE DES ANGLES; MESURE DES SUPERFICIES; MESURE DES IRRÉGULARITÉS DES SURFACES OU CONTOURS
15
Dispositions pour la mesure caractérisées par l'utilisation de radiations d'ondes ou de particules
04
pour mesurer des contours ou des courbes
Déposants :
株式会社 日立ハイテクノロジーズ HITACHI HIGH-TECHNOLOGIES CORPORATION [JP/JP]; 東京都港区西新橋一丁目24番14号 24-14, Nishi Shimbashi 1-chome, Minato-ku, Tokyo 1058717, JP
Inventeurs :
福田 宏 FUKUDA Hiroshi; JP
Mandataire :
戸田 裕二 TODA Yuji; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) PATTERN MEASUREMENT DEVICE AND COMPUTER PROGRAM
(FR) DISPOSITIF DE MESURE DE MOTIF ET PROGRAMME INFORMATIQUE
(JA) パターン計測装置、及びコンピュータープログラム
Abrégé :
(EN) The purpose of the present invention is to provide a pattern measurement device that achieves both high-throughput measurement using a small number of measurements and high-accuracy measurement that uses statistical processing. To accomplish this purpose, the present invention proposes a pattern measurement device provided with a calculation processing device that acquires the signal intensity distribution for a plurality of positions included in a scanning region from a signal obtained through beam scanning; substitutes, into a probability density function having the signal intensity distribution as a random variable and the coordinates within the scanning region as a variable, a signal intensity distribution based on the signal obtained from the beam scanning; and for the plurality of positions within the scanning region, sets the coordinates within the scanning region at which the probability density function is at the maximum or at which prescribed conditions are met as the edge position.
(FR) L'objet de la présente invention est de fournir un dispositif de mesure de motif qui assure une mesure à haut débit à l'aide d'un petit nombre de mesures et une mesure de grande précision utilisant un traitement statistique. À cet effet, la présente invention propose un dispositif de mesure de motif pourvu d'un dispositif de traitement de calcul qui acquiert la distribution d'intensité de signal d'une pluralité de positions comprises dans une région de balayage à partir d'un signal obtenu par balayage de faisceau ; qui remplace, dans une fonction de densité de probabilité intégrant la distribution d'intensité de signal en tant que variable aléatoire et les coordonnées à l'intérieur de la région de balayage en tant que variable, une distribution d'intensité de signal sur la base du signal obtenu à partir du balayage de faisceau ; et qui, pour la pluralité de positions à l'intérieur de la région de balayage, définit les coordonnées à l'intérieur de la région de balayage pour lesquelles la fonction de densité de probabilité est maximale ou pour lesquelles des conditions prescrites sont satisfaites en tant que position de bord.
(JA) 本発明は、少ない計測数による高スループット計測と、統計処理を用いた高精度計測を両立するパターン計測装置の提供を目的とする。この目的を達成するために、本発明では、ビーム走査によって得られる信号から、走査領域に含まれる複数位置の信号強度分布を取得し、当該信号強度分布を確率変数とすると共に、前記走査領域内座標を変数とする確率密度関数に、前記ビーム走査によって得られる信号に基づく信号強度分布を代入し、前記走査領域内の複数の位置について、前記確率密度関数が最大、或いは所定の条件を満たす前記走査領域内座標を、エッジ位置とする演算処理装置を備えたパターン計測装置を提案する。
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JP, KE, KG, KN, KP, KR, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)