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1. (WO2018042565) DISPOSITIF DE COLLECTE DE GOUTTELETTES
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international   

N° de publication : WO/2018/042565 N° de la demande internationale : PCT/JP2016/075532
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 31.08.2016
CIB :
H05G 2/00 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
05
TECHNIQUES ÉLECTRIQUES NON PRÉVUES AILLEURS
G
TECHNIQUE DES RAYONS X
2
Appareils ou procédés spécialement adaptés à la production de rayons X, n'utilisant pas de tubes à rayons X, p.ex. utilisant la génération d'un plasma
Déposants :
ギガフォトン株式会社 GIGAPHOTON INC. [JP/JP]; 栃木県小山市大字横倉新田400番地 400, Oaza Yokokurashinden, Oyama-shi, Tochigi 3238558, JP
Inventeurs :
上鉄穴 一磨 KAMIKANNA Kazukiyo; JP
Mandataire :
森村靖男 MORIMURA Yasuo; JP
Données relatives à la priorité :
Titre (EN) DROPLET COLLECTION DEVICE
(FR) DISPOSITIF DE COLLECTE DE GOUTTELETTES
(JA) ドロップレット回収装置
Abrégé :
(EN) This droplet collection device is provided with: a collecting container which is provided to an outer wall surface side of a wall of a chamber, and which is formed so as to communicate with the inside of the chamber via an opening provided in the wall of the chamber; a collision plate which is provided inside the collecting container, and with which droplets supplied to the collecting container from the opening are made to collide; and shielding plates which are provided further towards the side of the opening than the collision plate, and which are provided with through holes through which the droplets supplied to the collecting container pass. Wire bundles in which a plurality of wires are bundled may be provided in the through holes in the shielding plates.
(FR) Le dispositif de collecte de gouttelettes selon l'invention est pourvu: d'un récipient de collecte qui est disposé sur un côté de surface de paroi externe d'une paroi d'une chambre, et qui est formé de manière à communiquer avec l'intérieur de la chambre par l'intermédiaire d'une ouverture ménagée dans la paroi de la chambre; une plaque de collision qui est disposée à l'intérieur du récipient de collecte, et avec laquelle des gouttelettes fournies au récipient de collecte à partir de l'ouverture sont amenées à entrer en collision; et des plaques de protection qui sont disposées davantage vers le côté de l'ouverture que la plaque de collision, et qui sont dotées de trous traversants à travers lesquels passent les gouttelettes fournies au récipient de collecte. Des faisceaux de fils dans lesquels une pluralité de fils sont groupés peuvent être disposés dans les trous traversants ménagés dans les plaques de protection.
(JA) ドロップレット回収装置は、チャンバの壁の外壁面側に配置され、チャンバの壁に設けられる開口を介してチャンバ内部に連通するよう構成される回収用容器と、回収用容器の内部に配置され、開口から回収用容器に供給されるドロップレットを衝突させる衝突板と、衝突板よりも開口側に配置され、回収用容器に供給されるドロップレットが通る貫通孔を有する遮蔽板とを備え、遮蔽板の貫通孔には、複数の線材を束ねた状態の線材束が配置されてもよい。
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Langue de publication : japonais (JA)
Langue de dépôt : japonais (JA)