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1. (WO2018042441) INSCRIPTION PAR LASERS À IMPULSIONS FEMTOSECONDES
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N° de publication :    WO/2018/042441    N° de la demande internationale :    PCT/IL2017/050982
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 03.09.2017
CIB :
B23K 26/00 (2014.01), G02B 6/10 (2006.01), B23K 26/06 (2014.01)
Déposants : CYPRUS UNIVERSITY OF TECHNOLOGY [CY/CY]; 30 Archbishop Kyprianou Str. Limassol, 3036 (CY).
REINHOLD COHN AND PARTNERS [IL/IL]; P.O.Box 13239 6113102 Tel Aviv (IL) (MW only)
Inventeurs : KALLI, Kyriacos; (CY)
Mandataire : SCHNUR, Myriam; Reinhold Cohn And Partners P.O.Box 13239 6113102 Tel Aviv (IL)
Données relatives à la priorité :
62/382,788 02.09.2016 US
62/463,899 27.02.2017 US
Titre (EN) FEMTOSECOND LASER INSCRIPTION
(FR) INSCRIPTION PAR LASERS À IMPULSIONS FEMTOSECONDES
Abrégé : front page image
(EN)The present invention relates to a novel method and system for inscription of periodic patterns inside or on a surface of a substrate using femtosecond pulse lasers. The method comprises the following steps: (a) receiving a plurality of femtosecond laser pulsed beams, each beam having a certain pulse duration, flux, focal spot size, profile and energy at a certain wavelength of operation; (b) controlling at least one of the pulse duration, flux, focal spot size, focal spot shape, profile and energy of the plurality of laser pulsed beams; (c) directing the plurality of laser pulsed beams onto a certain region of a substrate having an optical axis, to thereby selectively induce at least one of local index change, microvoids and stress-modulated region at a point of interaction between each beam and the certain region; (d) controllably displacing the substrate along its optical axis to create the periodic patterns on a first plane of inscription along the optical axis; and (e) creating spaced-apart planes across the substrate having a controlled index profile at least in two dimensions.
(FR)La présente invention concerne un nouveau procédé et un nouveau système d'inscription de motifs périodiques à l'intérieur d'une surface d'un substrat ou sur cette dernière à l'aide de lasers à impulsions femtosecondes. Le procédé comprend les étapes suivantes consistant : (a) à recevoir une pluralité de faisceaux laser à impulsions femtosecondes, chaque faisceau ayant une certaine durée d'impulsion, un flux, une taille de point focal, un profil et une énergie à une certaine longueur d'onde de fonctionnement ; (b) à commander au moins la durée d'impulsion, le flux, la taille de point focal, la forme de point focal, le profil et/ou l'énergie de la pluralité de faisceaux laser pulsés ; (c) à diriger la pluralité de faisceaux laser pulsés sur une certaine région d'un substrat ayant un axe optique, pour ainsi induire sélectivement au moins un changement d'indice local, des microvides et une région modulée par contrainte au niveau d'un point d'interaction entre chaque faisceau et la certaine région ; (d) à déplacer de manière contrôlée le substrat le long de son axe optique pour créer les motifs périodiques sur un premier plan d'inscription le long de l'axe optique ; et (e) à créer des plans espacés sur le substrat ayant un profil d'indice contrôlé au moins dans deux dimensions.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW.
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB) (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG).
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)