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1. (WO2018041744) SYSTÈME DE COMPENSATION DYNAMIQUE D'ERREURS DE POSITION D'UN ÉCHANTILLON
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N° de publication : WO/2018/041744 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/071477
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 26.08.2017
CIB :
H01J 37/18 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
J
TUBES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE OU LAMPES À DÉCHARGE ÉLECTRIQUE
37
Tubes à décharge pourvus de moyens permettant l'introduction d'objets ou d'un matériau à exposer à la décharge, p.ex. pour y subir un examen ou un traitement
02
Détails
18
Fermetures étanches
Déposants :
ASML NETHERLANDS B.V. [NL/NL]; P.O. Box 324 5500 AH Veldhoven, NL
Inventeurs :
LI, Fangfu; US
Mandataire :
PETERS, John; NL
Données relatives à la priorité :
62/380,70429.08.2016US
62/413,54327.10.2016US
62/549,41323.08.2017US
Titre (EN) SYSTEM FOR DYNAMICALLY COMPENSATING POSITION ERRORS OF A SAMPLE
(FR) SYSTÈME DE COMPENSATION DYNAMIQUE D'ERREURS DE POSITION D'UN ÉCHANTILLON
Abrégé :
(EN) Systems and methods are provided for dynamically compensating position errors of a sample 350. The system can comprise one or more sensing units 311,321,331 configured to generate a signal based on a position of a sample 350 and a controller. The controller can be configured to determine the position of the sample based on the signal and in response to the determined position, provide information associated with the determined position for control of one of a first handling unit in a first chamber, a second handling unit in a second chamber, and a beam location unit in the second chamber.
(FR) Cette invention concerne des systèmes et des procédés de compensation dynamique d'erreurs de position d'un échantillon. Le système peut comprendre une ou plusieurs unité(s) de détection configurée(s) pour générer un signal sur la base d'une position d'un échantillon et un dispositif de commande. Le dispositif de commande peut être configuré pour déterminer la position de l'échantillon sur la base du signal et en réponse à la position déterminée, fournir des informations associées à la position déterminée pour commander l'une d'une première unité de manipulation dans une première chambre, d'une seconde unité de manipulation dans une seconde chambre, et d'une unité de localisation à faisceau dans la seconde chambre.
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États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
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Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)