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1. (WO2018041695) PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FILMS MINCES INORGANIQUES

Pub. No.:    WO/2018/041695    International Application No.:    PCT/EP2017/071236
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Aug 24 01:59:59 CEST 2017
IPC: C07F 15/00
C23C 16/455
Applicants: BASF SE
Inventors: ADERMANN, Torben
ABELS, Falko
LIMBURG, Carolin
WILMER, Hagen
GERKENS, Jan
SCHNEIDER, Sven
Title: PROCÉDÉ DE PRODUCTION DE FILMS MINCES INORGANIQUES
Abstract:
La présente invention concerne le domaine des procédés de production de films minces inorganiques sur des substrats, en particulier des procédés de dépôt de couches atomiques. La présente invention concerne un procédé de génération de films inorganiques comprenant le dépôt du composé de formule générale (I) sur un substrat solide (I), où M est Mn, Ni ou Co, X est un ligand qui coordonne M, n est égal à 0, 1, 2, 3, ou 4, R 1 est un groupe alkyle, un groupe alcényle, un groupe aryle, un halogène, ou un groupe silyle, R 2 est un groupe alkyle, un groupe alcényle, un groupe aryle ou un groupe silyle, p et q valent 1 ou 2, p + q = 3, et m valant 1, 2 ou 3.