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1. (WO2018041670) DISPOSITIF DE COMMANDE

Pub. No.:    WO/2018/041670    International Application No.:    PCT/EP2017/071135
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: CARL ZEISS SMT GMBH
Inventors: HOLZ, Markus
HORN, Jan
SYROWATKA, Klaus
Title: DISPOSITIF DE COMMANDE
Abstract:
L'invention concerne un dispositif de commande (31) pour un ensemble (30) comprenant une pluralité de capteurs (32i) et/ou d’actionneurs (33i), ce dispositif comprenant au moins une première unité de commande (34) qui est conçue pour pouvoir être soumise à un vide, présente un répartiteur pour séparer et/ou combiner des signaux et présente un convertisseur pour convertir des signaux numériques en signaux analogiques et/ou des signaux analogiques en signaux numériques.