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1. (WO2018041600) PROCÉDÉ DE DÉPÔT PAR AÉROSOL ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE PIÈCE CÉRAMIQUE ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE COUCHES
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N° de publication : WO/2018/041600 N° de la demande internationale : PCT/EP2017/070395
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 11.08.2017
CIB :
C23C 24/04 (2006.01) ,C23C 24/08 (2006.01) ,H01L 39/14 (2006.01) ,H01L 39/24 (2006.01)
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
24
Revêtement à partir de poudres inorganiques
02
en utilisant uniquement une pression
04
Dépôt de particules par impact
C CHIMIE; MÉTALLURGIE
23
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT CHIMIQUE DE SURFACE; TRAITEMENT DE DIFFUSION DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL; MOYENS POUR EMPÊCHER LA CORROSION DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES, L'ENTARTRAGE OU LES INCRUSTATIONS, EN GÉNÉRAL
C
REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; REVÊTEMENT DE MATÉRIAUX AVEC DES MATÉRIAUX MÉTALLIQUES; TRAITEMENT DE SURFACE DE MATÉRIAUX MÉTALLIQUES PAR DIFFUSION DANS LA SURFACE, PAR CONVERSION CHIMIQUE OU SUBSTITUTION; REVÊTEMENT PAR ÉVAPORATION SOUS VIDE, PAR PULVÉRISATION CATHODIQUE, PAR IMPLANTATION D'IONS OU PAR DÉPÔT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR, EN GÉNÉRAL
24
Revêtement à partir de poudres inorganiques
08
en utilisant la chaleur ou une pression et la chaleur
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
39
Dispositifs utilisant la supraconductivité ou l'hyperconductivité; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
14
Dispositifs à supraconductivité permanente
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
39
Dispositifs utilisant la supraconductivité ou l'hyperconductivité; Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de ces dispositifs ou de leurs parties constitutives
24
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement des dispositifs couverts par H01L39/134
Déposants :
SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT [DE/DE]; Werner-von-Siemens-Straße 1 80333 München, DE
Inventeurs :
DENNELER, Stefan; DE
GLOSSE, Philipp; DE
Données relatives à la priorité :
10 2016 216 278.030.08.2016DE
Titre (EN) METHOD FOR AEROSOL DEPOSITION, METHOD FOR PRODUCING A CERAMIC PART, AND DEVICE FOR PRODUCING LAYERS
(FR) PROCÉDÉ DE DÉPÔT PAR AÉROSOL ET PROCÉDÉ DE FABRICATION D'UNE PIÈCE CÉRAMIQUE ET DISPOSITIF DE FABRICATION DE COUCHES
(DE) VERFAHREN ZUR AEROSOLDEPOSITION UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES KERAMIKTEILS UND VORRICHTUNG ZUR HERSTELLUNG VON SCHICHTEN
Abrégé :
(EN) The invention relates to a method for aerosol deposition, wherein a powder having particles of at least two substances is used, wherein the powder is first converted into an aerosol and is then subjected to a deposition process, wherein particles of at least one substance are filtered in the aerosol before the deposition process. In the method for producing a ceramic part, in particular a high-temperature superconductor, the ceramic part is formed by means of such a method for aerosol deposition.
(FR) L'invention concerne un procédé de dépôt par aérosol consistant à utiliser une poudre contenant des particules d'au moins deux matières, cette poudre étant au préalable transformée en aérosol, puis soumise à un dépôt, des particules d'au moins une matière étant filtrées dans l'aérosol et avant le dépôt. L'invention concerne par ailleurs un procédé de fabrication d'une pièce céramique, en particulier d'un supraconducteur à haute température, selon lequel la pièce céramique est formée à l'aide dudit procédé de dépôt par aérosol.
(DE) Bei dem Verfahren zur Aerosoldeposition wird ein Pulver mit Partikeln zumindest zweier Stoffe herangezogen, wobei das Pulver zunächst in ein Aerosol überführt und nachfolgend einer Deposition unterworfen wird, wobei Partikel zumindest eines Stoffs im Aerosol und vor Deposition gefiltert werden. Bei dem Verfahren zur Herstellung eines Keramikteils, insbesondere eines Hochtemperatur-Supraleiters, wird das Keramikteil mit einem solchen Verfahren zur Aerosoldeposition gebildet.
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Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : allemand (DE)
Langue de dépôt : allemand (DE)