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1. (WO2018041582) STRUCTURE MEMS À COMPOSANT EN GRAPHÈNE

Pub. No.:    WO/2018/041582    International Application No.:    PCT/EP2017/070275
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Fri Aug 11 01:59:59 CEST 2017
IPC: B81C 1/00
Applicants: ROBERT BOSCH GMBH
Inventors: SAMARAO, Ashwin
YEE, Seow Yuen
LAERMER, Franz
YAMA, Gary
Title: STRUCTURE MEMS À COMPOSANT EN GRAPHÈNE
Abstract:
L'invention concerne une structure de systèmes microélectromécaniques (MEMS) comprenant un substrat, une couche d'encapsulation en polysilicium épitaxial située au-dessus du substrat, une première partie de cavité délimitée entre le substrat et la couche d'encapsulation en polysilicium épitaxial, et un premier composant en graphène comportant au moins une surface de graphène immédiatement adjacente à la première partie de cavité.