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1. (WO2018041507) OPTIMISATION DE PILE DE FORMATION DE MOTIFS

Pub. No.:    WO/2018/041507    International Application No.:    PCT/EP2017/069513
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Aug 03 01:59:59 CEST 2017
IPC: G03F 7/20
Applicants: ASML NETHERLANDS B.V.
Inventors: TEL, Wim, Tjibbo
FINDERS, Jozef, Maria
MOURAILLE, Orion, Jonathan, Pierre
VAN OOSTEN, Anton, Bernhard
Title: OPTIMISATION DE PILE DE FORMATION DE MOTIFS
Abstract:
La présente invention se rapporte à un procédé de réglage d'une pile de formation de motifs, le procédé consistant : à définir une fonction qui mesure la manière dont un paramètre représentant une caractéristique physique relative à un motif transféré dans une pile de formation de motifs sur un substrat est affecté par une modification d'une variable de pile de formation de motifs, la variable de pile de formation de motifs représentant une caractéristique physique d'une couche de matériau de la pile de formation de motifs ; à faire varier, à l'aide d'un système informatique matériel, cette variable de pile de formation de motifs, et à évaluer, au moyen du système informatique matériel, la fonction par rapport à la variable de pile de formation de motifs que l'on a fait varier, jusqu'à ce qu'une condition de fin soit satisfaite ; et à délivrer une valeur de ladite variable de pile de formation de motifs lorsque la condition de fin est satisfaite.