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1. (WO2018041326) PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR ORIENTER DES SUBSTRATS

Pub. No.:    WO/2018/041326    International Application No.:    PCT/EP2016/070289
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Aug 30 01:59:59 CEST 2016
IPC: H01L 21/67
H01L 21/68
Applicants: EV GROUP E. THALLNER GMBH
Inventors: WAGENLEITNER, Thomas
ZINNER, Dominik
SÜSS, Jürgen Markus
SINN, Christian
MALLINGER, Jürgen
Title: PROCÉDÉ ET DISPOSITIF POUR ORIENTER DES SUBSTRATS
Abstract:
La présente invention concerne un procédé pour orienter et mettre en contact un premier substrat (16) avec un second substrat (17) par utilisation de plusieurs unités de détection et un dispositif correspondant.