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1. (WO2018041099) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE PRÉVENTION DE LA CONTAMINATION DE LENTILLE
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N° de publication : WO/2018/041099 N° de la demande internationale : PCT/CN2017/099513
Date de publication : 08.03.2018 Date de dépôt international : 29.08.2017
CIB :
G03F 7/20 (2006.01)
G PHYSIQUE
03
PHOTOGRAPHIE; CINÉMATOGRAPHIE; TECHNIQUES ANALOGUES UTILISANT D'AUTRES ONDES QUE DES ONDES OPTIQUES; ÉLECTROGRAPHIE; HOLOGRAPHIE
F
PRODUCTION PAR VOIE PHOTOMÉCANIQUE DE SURFACES TEXTURÉES, p.ex. POUR L'IMPRESSION, POUR LE TRAITEMENT DE DISPOSITIFS SEMI-CONDUCTEURS; MATÉRIAUX À CET EFFET; ORIGINAUX À CET EFFET; APPAREILLAGES SPÉCIALEMENT ADAPTÉS À CET EFFET
7
Production par voie photomécanique, p.ex. photolithographique, de surfaces texturées, p.ex. surfaces imprimées; Matériaux à cet effet, p.ex. comportant des photoréserves; Appareillages spécialement adaptés à cet effet
20
Exposition; Appareillages à cet effet
Déposants :
上海微电子装备(集团)股份有限公司 SHANGHAI MICRO ELECTRONICS EQUIPMENT(GROUP) CO., LTD. [CN/CN]; 中国上海市 张江高科技园区张东路1525号 1525 Zhangdong Road, Zhangjiang High-Tech Park Shanghai 201203, CN
Inventeurs :
郝保同 HAO, Baotong; CN
郎东春 LANG, Dongchun; CN
Mandataire :
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) SHANGHAI SAVVY INTELLECTUAL PROPERTY AGENCY; 中国上海市 长宁区天山西路789号1幢341室 Room 341, Building 1 789 West Tianshan Road, Changning District Shanghai 200335, CN
Données relatives à la priorité :
201610767140.030.08.2016CN
Titre (EN) LENS CONTAMINATION PREVENTION DEVICE AND METHOD
(FR) DISPOSITIF ET PROCÉDÉ DE PRÉVENTION DE LA CONTAMINATION DE LENTILLE
(ZH) 镜片防污染装置及方法
Abrégé :
(EN) A lens contamination prevention device, comprising a first device (300) and a second device (400) connected to the first device (300); the first device (300) is closer to a lens (100) relative to the second device (400), wherein the first device (300) is used to output protective layer gas, and the protective layer gas flows uniformly against the lower surface of the lens (100) by means of a nozzle (330), which may clean the already contaminated lens (100) and form a protective layer so as to prevent recontamination; the second device (400) is used to take away the gas near a contamination source, and the contamination gas enters an annular cavity (420) by means of a small hole (410) and is discharged into a remote environment by means of exhaust power of an exhaust channel (200). Also disclosed is a lens contamination prevention method. Before exposure, first the first device (300) is turned on, then the second device (400) is turned on, and the second device (400) may be turned off after 12 hours of exposure has been complete. The device and method may better solve the problem wherein photoresist organic matter volatilizes and contaminates the lens, and have the advantages of simple installation, long service life, low cost and high reliability, ensuring that the contamination matter is completely removed and does not enter the inside of the lens.
(FR) La présente invention concerne un dispositif de prévention de la contamination de lentille, comprenant un premier dispositif (300) et un second dispositif (400) connecté au premier dispositif (300) ; le premier dispositif (300) est plus proche d'une lentille (100) par rapport au second dispositif (400), le premier dispositif (300) étant utilisé pour produire un gaz de couche de protection, et le gaz de couche de protection s'écoulant uniformément contre la surface inférieure de la lentille (100) au moyen d'une buse (330), qui peut nettoyer la lentille déjà contaminée (100) et former une couche de protection de façon à empêcher la recontamination ; le second dispositif (400) est utilisé pour retirer le gaz à proximité d'une source de contamination, et le gaz de contamination pénètre dans une cavité annulaire (420) au moyen d'un petit trou (410) et est évacué dans un environnement distant au moyen de la puissance d'échappement d'un canal d'échappement (200). L'invention concerne également un procédé de prévention de la contamination de lentille. Avant l'exposition, le premier dispositif (300) est allumé, puis le second dispositif (400) est allumé, et le second dispositif (400) peut être éteint après l'écoulement de 12 heures d'exposition. Le dispositif et le procédé peuvent mieux résoudre le problème selon lequel une matière organique de photorésine se volatilise et contamine la lentille, et présente les avantages d'une installation simple, d'une longue durée de vie, d'un faible coût et d'une fiabilité élevée, ce qui garantit que la matière de contamination soit complètement retirée et ne pénètre pas à l'intérieur de la lentille.
(ZH) 一种镜片防污染装置,包括第一装置(300)及与第一装置(300)相连的第二装置(400),第一装置(300)相对于第二装置(400)更靠近镜片(100),其中第一装置(300)用于输出保护层气体,通过喷嘴(330)使保护层气体紧贴镜片(100)下表面均匀流过,可以清洁已污染的镜片(100)并形成保护层以防止再次污染;第二装置(400)用于带离污染源附近气体,污染气体通过小孔(410)进入环形腔体(420),并由排气通道(200)的抽排动力排到远离的环境中。还公开了一种镜片防污染方法。曝光前,先开启第一装置(300),再开启第二装置(400),曝光结束12小时后可关闭第二装置(400)。这种装置和方法能够更好地解决光刻胶有机物挥发污染镜片的问题,安装简便、寿命长、成本低、可靠性高,并保证污染物完全清除,不进入物镜内部。
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Langue de publication : chinois (ZH)
Langue de dépôt : chinois (ZH)