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1. (WO2018040791) SOURCE DE MICRO-ÉLECTRONS À EFFET TUNNEL DE SURFACE ET RÉSEAU ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION ASSOCIÉ

Pub. No.:    WO/2018/040791    International Application No.:    PCT/CN2017/094029
Publication Date: Fri Mar 09 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Tue Jul 25 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01J 37/073
H01J 9/18
Applicants: PEKING UNIVERSITY
北京大学
Inventors: WEI, Xianlong
魏贤龙
WU, Gongtao
吴功涛
Title: SOURCE DE MICRO-ÉLECTRONS À EFFET TUNNEL DE SURFACE ET RÉSEAU ET PROCÉDÉ DE RÉALISATION ASSOCIÉ
Abstract:
L'invention concerne une source de micro-électrons à effet tunnel de surface et un réseau et un procédé de réalisation associé. La source de micro-électrons à effet tunnel de surface est une structure plane à régions multiples comprenant un substrat d'isolation (1). Une surface du substrat d'isolation comporte deux régions électriquement conductrices (3) et une région d'isolation (4). La région d'isolation est située entre les deux régions électriquement conductrices et est connectée à ces dernières. Une distance minimale entre les deux régions électriquement conductrices est une largeur minimale de la région d'isolation qui est inférieure ou égale à 100 nm. Par comparaison aux sources d'électrons à effet tunnel existantes ayant des structures verticales multicouches, la source d'électrons et le réseau associé ont une efficacité d'émission d'électrons élevée et des structures simples, peuvent être traités de manière commode, facilitent l'intégration de réseau à grande échelle, et peuvent être largement appliqués à divers dispositifs électroniques impliquant des sources d'électrons, tels que des tubes à rayons X, des tubes à micro-ondes, et des dispositifs d'affichage à écran plat.