Certains contenus de cette application ne sont pas disponibles pour le moment.
Si cette situation persiste, veuillez nous contacter àObservations et contact
1. (WO2018039555) MESURE D'ÉPAISSEUR DE SUBSTRAT PAR MÉTROLOGIE DE COULEUR
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/039555 N° de la demande internationale : PCT/US2017/048605
Date de publication : 01.03.2018 Date de dépôt international : 25.08.2017
CIB :
H01L 21/66 (2006.01)
H ÉLECTRICITÉ
01
ÉLÉMENTS ÉLECTRIQUES FONDAMENTAUX
L
DISPOSITIFS À SEMI-CONDUCTEURS; DISPOSITIFS ÉLECTRIQUES À L'ÉTAT SOLIDE NON PRÉVUS AILLEURS
21
Procédés ou appareils spécialement adaptés à la fabrication ou au traitement de dispositifs à semi-conducteurs ou de dispositifs à l'état solide, ou bien de leurs parties constitutives
66
Essai ou mesure durant la fabrication ou le traitement
Déposants :
APPLIED MATERIALS, INC. [US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs :
BENVEGNU, Dominic J.; US
Mandataire :
GOREN, David J.; US
Données relatives à la priorité :
62/379,92026.08.2016US
Titre (EN) THICKNESS MEASUREMENT OF SUBSTRATE USING COLOR METROLOGY
(FR) MESURE D'ÉPAISSEUR DE SUBSTRAT PAR MÉTROLOGIE DE COULEUR
Abrégé :
(EN) A metrology system for obtaining a measurement representative of a thickness of a layer on a substrate includes a camera positioned to capture a color image of at least a portion of the substrate. A controller is configured to receive the color image from the camera, store a predetermined path in a coordinate space of at least two dimension including a first color channel and a second color channel, store a function that provides a value representative of a thickness as a function of a position on the predetermined path, determine a coordinate of a pixel in the coordinate space from color data in the color image for the pixel, determine a position of a point on the predetermined path that is closest to the coordinate of the pixel, and calculate a value representative of a thickness from the function and the position of the point on the predetermined path.
(FR) Selon l'invention, un système de métrologie pour obtenir une mesure représentative d'une épaisseur d'une couche sur un substrat comprend une caméra positionnée pour capturer une image en couleurs d'au moins une partie du substrat. Un contrôleur est configuré pour recevoir l'image en couleurs de la caméra, stocker un trajet prédéterminé dans un espace de coordonnées à au moins deux dimensions comprenant un premier canal de couleur et un deuxième canal de couleur, stocker une fonction qui fournit une valeur représentative d'une épaisseur en fonction d'une position sur le trajet prédéterminé, déterminer des coordonnées d'un pixel dans l'espace de coordonnées à partir de données de couleur dans l'image en couleurs pour le pixel, déterminer une position d'un point sur le trajet prédéterminé qui est le plus proche des coordonnées du pixel, et calculer une valeur représentative d'une épaisseur à partir de la fonction et de la position du point sur le trajet prédéterminé.
front page image
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)