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PATENTSCOPE

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1. (WO2018039315) ÉCRAN À PLASMA POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT AU PLASMA
Dernières données bibliographiques dont dispose le Bureau international    Formuler une observation

N° de publication : WO/2018/039315 N° de la demande internationale : PCT/US2017/048170
Date de publication : 01.03.2018 Date de dépôt international : 23.08.2017
CIB :
H01J 37/32 (2006.01)
Déposants : APPLIED MATERIALS, INC.[US/US]; 3050 Bowers Avenue Santa Clara, California 95054, US
Inventeurs : NICHOLS, Michael Thomas; US
YOUSIF, Imad; US
O'MALLEY, John Anthony, III; US
DHINDSA, Rajinder; US
BABAYAN, Steven E.; US
Mandataire : PATTERSON, B. Todd; US
TABOADA, Keith; US
Données relatives à la priorité :
62/380,15126.08.2016US
Titre (EN) PLASMA SCREEN FOR PLASMA PROCESSING CHAMBER
(FR) ÉCRAN À PLASMA POUR CHAMBRE DE TRAITEMENT AU PLASMA
Abrégé : front page image
(EN) Embodiments of the present disclosure relate to a plasma screen used in a plasma processing chamber with improved flow conductance and uniformity. One embodiment provides a plasma screen. The plasma screen includes a circular plate having a center opening and an outer diameter. A plurality of cut outs formed through the circular plate. The plurality of cut outs are arranged in two or more concentric circles. Each concentric circle includes equal number of cut outs.
(FR) Des modes de réalisation de la présente invention concernent un écran à plasma utilisé dans une chambre de traitement au plasma avec une conductance et une uniformité d'écoulement améliorées. Un mode de réalisation concerne un écran à plasma. L'écran à plasma comprend une plaque circulaire ayant une ouverture centrale et un diamètre externe. Une pluralité de découpes sont formées à travers la plaque circulaire. La pluralité de découpes sont agencées en deux cercles concentriques ou plus. Chaque cercle concentrique comprend un nombre égal de découpes.
États désignés : AE, AG, AL, AM, AO, AT, AU, AZ, BA, BB, BG, BH, BN, BR, BW, BY, BZ, CA, CH, CL, CN, CO, CR, CU, CZ, DE, DJ, DK, DM, DO, DZ, EC, EE, EG, ES, FI, GB, GD, GE, GH, GM, GT, HN, HR, HU, ID, IL, IN, IR, IS, JO, JP, KE, KG, KH, KN, KP, KR, KW, KZ, LA, LC, LK, LR, LS, LU, LY, MA, MD, ME, MG, MK, MN, MW, MX, MY, MZ, NA, NG, NI, NO, NZ, OM, PA, PE, PG, PH, PL, PT, QA, RO, RS, RU, RW, SA, SC, SD, SE, SG, SK, SL, SM, ST, SV, SY, TH, TJ, TM, TN, TR, TT, TZ, UA, UG, US, UZ, VC, VN, ZA, ZM, ZW
Organisation régionale africaine de la propriété intellectuelle (ARIPO) (BW, GH, GM, KE, LR, LS, MW, MZ, NA, RW, SD, SL, ST, SZ, TZ, UG, ZM, ZW)
Office eurasien des brevets (OEAB) (AM, AZ, BY, KG, KZ, RU, TJ, TM)
Office européen des brevets (OEB (AL, AT, BE, BG, CH, CY, CZ, DE, DK, EE, ES, FI, FR, GB, GR, HR, HU, IE, IS, IT, LT, LU, LV, MC, MK, MT, NL, NO, PL, PT, RO, RS, SE, SI, SK, SM, TR)
Organisation africaine de la propriété intellectuelle (OAPI) (BF, BJ, CF, CG, CI, CM, GA, GN, GQ, GW, KM, ML, MR, NE, SN, TD, TG)
Langue de publication : anglais (EN)
Langue de dépôt : anglais (EN)