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1. (WO2018039246) CARACTÉRISATION INFRAROUGE D'UN ÉCHANTILLON À L'AIDE D'UN CONTACT INTERMITTENT À FORCE MAXIMALE

Pub. No.:    WO/2018/039246    International Application No.:    PCT/US2017/048039
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Wed Aug 23 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01Q 60/24
G01Q 10/06
Applicants: BRUKER NANO, INC.
LEHIGH UNIVERSITY
Inventors: XU, Xiaoji
WAGNER, Martin
SU, Chanmin
Title: CARACTÉRISATION INFRAROUGE D'UN ÉCHANTILLON À L'AIDE D'UN CONTACT INTERMITTENT À FORCE MAXIMALE
Abstract:
L'invention concerne un appareil et un procédé de réalisation d'une caractérisation d'échantillon à l'aide d'un AFM et d'un laser IR pulsé dirigé vers la pointe d'une sonde de l'AFM. Les impulsions laser sont synchronisées au moyen de l'entraînement oscillatoire de l'AFM de sorte qu'une impulsion interagit avec la pointe/l'échantillon uniquement à des cycles sélectionnés (par exemple, un cycle sur deux) de l'oscillation. Des mesures nano-mécaniques et nano-spectroscopiques peuvent être effectuées à l'aide d'une résolution inférieure à 50 nm et même inférieure à 20 nm.