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1. (WO2018038855) CAPTEURS DE TEMPÉRATURE DE RÉSISTANCE MÉTALLIQUE DE LIGNE CENTRALE (MOL) POUR LA DÉTECTION DE TEMPÉRATURE LOCALISÉE DE ZONES SEMI-CONDUCTRICES ACTIVES DANS DES CIRCUITS INTÉGRÉS (CI)

Pub. No.:    WO/2018/038855    International Application No.:    PCT/US2017/043897
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jul 27 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01K 7/18
H01L 23/522
Applicants: QUALCOMM INCORPORATED
Inventors: GE, Lixin
CHIDAMBARAM, Periannan
YANG, Bin
LIN, Jiefeng, Jeff
NALLAPATI, Giridhar
YU, Bo
DENG, Jie
YUAN, Jun
SONG, Stanley, Seungchul
Title: CAPTEURS DE TEMPÉRATURE DE RÉSISTANCE MÉTALLIQUE DE LIGNE CENTRALE (MOL) POUR LA DÉTECTION DE TEMPÉRATURE LOCALISÉE DE ZONES SEMI-CONDUCTRICES ACTIVES DANS DES CIRCUITS INTÉGRÉS (CI)
Abstract:
L'invention concerne des capteurs de température de résistance métallique de ligne centrale (MOL) pour la détection de température localisée de zones semi-conductrices actives dans des circuits intégrés (CI). Une ou plusieurs résistances métalliques sont fabriquées dans une couche MOL dans le CI adjacent à une zone semi-conductrice active pour détecter la température ambiante dans la zone semi-conductrice active adjacente. La tension de la résistance métallique change en fonction de la température ambiante de la résistance métallique, qui peut être détectée pour mesurer la température ambiante autour de dispositifs dans la couche semi-conductrice active adjacente à la résistance métallique. Par fabrication d'une résistance métallique dans la couche MOL, la résistance métallique peut être localisée en position adjacente et à proximité de dispositifs à semi-conducteur pour détecter plus précisément la température ambiante des dispositifs à semi-conducteur. Les mêmes procédés de fabrication utilisés pour créer des contacts dans la couche MOL peuvent être utilisés pour fabriquer la résistance métallique.