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1. (WO2018038808) ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE TRANCHE MUNI DES COUCHES DE DÉTECTION POUVANT ÊTRE DÉCOUVERTES

Pub. No.:    WO/2018/038808    International Application No.:    PCT/US2017/039781
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Thu Jun 29 01:59:59 CEST 2017
IPC: H01L 21/67
H01L 21/66
Applicants: APPLIED MATERIALS, INC.
Inventors: TEDESCHI, Leonard
JI, Lili
JOUBERT, Olivier
LUBOMIRSKY, Dimtry
KRAUS, Philip Allan
MCCORMICK, Daniel T.
Title: ÉQUIPEMENT DE TRAITEMENT DE TRANCHE MUNI DES COUCHES DE DÉTECTION POUVANT ÊTRE DÉCOUVERTES
Abstract:
Des modes de réalisation de l'invention concernent des dispositifs et des procédés pour détecter des particules, surveiller les taux de gravure ou de dépôt, ou commander une opération d'un processus de fabrication de tranche. Dans un mode de réalisation, un ou plusieurs micro-capteurs sont montés sur un équipement de traitement de tranche, et sont capables de mesurer des vitesses de dépôt et de retrait de matériau en temps réel. Les micro-capteurs sont sélectivement exposés de telle sorte qu'une couche de détection d'un micro-capteur est protégée par une couche de masque pendant le fonctionnement actif d'un autre micro-capteur, et la couche de masque de protection peut être retirée pour découvrir la couche de détection lorsque l'autre micro-capteur atteint une fin de vie. D'autres modes de réalisation de la présente invention sont également décrits et revendiqués.