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1. (WO2018038612) CAPTEUR DE DISTANCE, SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT

Pub. No.:    WO/2018/038612    International Application No.:    PCT/NL2017/050556
Publication Date: Fri Mar 02 00:59:59 CET 2018 International Filing Date: Sat Aug 26 01:59:59 CEST 2017
IPC: G01B 21/16
G01B 5/14
G03F 7/20
G03F 9/00
B81B 3/00
Applicants: NEDERLANSE ORGANISATIE VOOR TOEGEPAST-NATUURWETENSCHAPPELIJK ONDERZOEK TNO
Inventors: SADEGHIAN MARNANI, Hamed
Title: CAPTEUR DE DISTANCE, SYSTÈME ET PROCÉDÉ D'ALIGNEMENT
Abstract:
L'invention concerne un capteur de distance (1) permettant d'estimer une distance jusqu'à une surface (OS) d'un objet (O), le capteur de distance comprenant un microsystème électromécanique (MEMS) (5), un moyen de détection (30) et un dispositif de traitement (40). Le MEMS comprend un dispositif MEMS (10) ayant une surface (12), notée surface de capteur MEMS, destinée à être disposée à l'opposé de la surface (OS) dudit objet (O), et un pilote MEMS (20) permettant de produire un signal de commande de courant alternatif afin d'amener la surface de capteur MEMS (12) à vibrer. Le moyen de détection (30) est destiné à déterminer une valeur d'une propriété d'un comportement dynamique du MEMS (5) et le dispositif de traitement (40) est destiné à estimer une distance moyenne (h) en tant que distance mesurée (D2) entre la surface de capteur MEMS (12) et la surface (OS) de l'objet (O) en fonction de la valeur déterminée pour ladite propriété.